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始創(chuàng)于1949年日本，主要從事半導體加工設(shè)備制造及精密測量儀器制造及開發(fā)的企業(yè)，其產(chǎn)品應用于航空航天、芯片制造行業(yè)，于1994年進入國內(nèi)市場
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日本ACCRETECH東京精密半導體設(shè)備UF2000產(chǎn)品參數(shù)
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日本ACCRETECH東京精密半導體設(shè)備UF2000詳細信息
日本ACCRETECH東京精密半導體設(shè)備UF2000
日本ACCRETECH東京精密半導體設(shè)備UF2000
ACCRETECH（東京精密）UF2000是一款面向200mm（8英寸）晶圓測試打造的旗艦級全自動探針臺，誕生至今始終是半導體中尺寸晶圓測試領(lǐng)域的經(jīng)典產(chǎn)品，兼具高精度與高產(chǎn)能優(yōu)勢，被廣泛應用于邏輯芯片、功率器件、MEMS傳感器等多品類晶圓的量產(chǎn)與研發(fā)測試，在全新設(shè)備與二手設(shè)備市場都保持著認可度。
UF2000的核心競爭力在于行業(yè)高精度定位技術(shù)，整機綜合定位精度控制在±4μm以內(nèi)，配備高清光學定位系統(tǒng)時重復定位精度可達±1.5μm，theta軸精度更是達到0.00024°，對應200mm晶圓邊緣誤差僅0.4μm，可以滿足優(yōu)良制程中小尺寸芯片的精準對位要求，從根源降低探針磨損與測試良率損失。設(shè)備采用高剛性機身結(jié)構(gòu)設(shè)計，從結(jié)構(gòu)上抑制運行過程中的振動，配合全新處理器與優(yōu)化算法，運行穩(wěn)定性大幅提升，可適應7*24小時連續(xù)量產(chǎn)測試需求。
針對晶圓搬運與測試效率，UF2000升級了全新的 loader結(jié)構(gòu)，配合高算力處理器，晶圓處理速度相比前代產(chǎn)品有明顯提升，實現(xiàn)了精度與產(chǎn)能的平衡。設(shè)備支持從5英寸到8英寸全尺寸200mm以內(nèi)晶圓測試，部分配置可兼容LCD基板等特殊工件測試，適配新工藝下多元化產(chǎn)品的測試需求。支持從低溫到高溫的全溫度區(qū)間測試環(huán)境配置，可滿足不同類型芯片可靠性測試、溫度特性測試的要求，覆蓋絕大多數(shù)半導體研發(fā)與量產(chǎn)測試場景。
在智能化與兼容性層面，UF2000搭載下一代遠程終端功能，支持e-Maintenance遠程維護與e-Diagnostic遠程診斷，可實現(xiàn)遠程設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測與故障排查，大幅降低運維成本。同時兼容SEMI GEM等行業(yè)標準通信協(xié)議，還可搭配東京精密自研的Vega-Net、Vega-Planet工業(yè)網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)，能夠無縫對接工廠自動化生產(chǎn)體系，實現(xiàn)測試數(shù)據(jù)的統(tǒng)一管理與分析。
作為東京精密200mm探針臺的經(jīng)典產(chǎn)品，UF2000延續(xù)了品牌一貫的高可靠性設(shè)計，操作邏輯沿用成熟設(shè)計，上手門檻低，維護成本可控，既適合大規(guī)模量產(chǎn)線的穩(wěn)定運行，也滿足科研機構(gòu)、中小晶圓廠小批量多品類測試需求，至今仍是中尺寸晶圓測試領(lǐng)域的熱門選擇，為半導體芯片測試環(huán)節(jié)提供穩(wěn)定可靠的支撐。
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