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始創(chuàng)于1949年日本，主要從事半導(dǎo)體加工設(shè)備制造及精密測量儀器制造及開發(fā)的企業(yè)，其產(chǎn)品應(yīng)用于航空航天、芯片制造行業(yè)，于1994年進入國內(nèi)市場
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日本ACCRETECH東京精密半導(dǎo)體設(shè)備AL3000產(chǎn)品參數(shù)
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本ACCRETECH東京精密半導(dǎo)體設(shè)備AL3000詳細信息
日本ACCRETECH東京精密半導(dǎo)體設(shè)備AL3000
日本ACCRETECH東京精密半導(dǎo)體設(shè)備AL3000
獨自的激光引擎機構(gòu)實現(xiàn)了高質(zhì)量加工和高吞吐量的兼顧
傳統(tǒng)的激光切割工藝中，高質(zhì)量加工和高吞吐量難以兼顧，存在權(quán)衡關(guān)系。
通過我公司獨特的激光引擎機構(gòu)+高剛性平臺的組合，
提供了高品質(zhì)和高吞吐量的激光切割工藝。
直徑300毫米晶圓專用 全自動激光切割機
從水溶性保護膜涂布到激光切割、清洗等整個流程自動對應(yīng)。
激光切割工藝
適用于低k切割、街道上的TEG去除的光學(xué)設(shè)計。
通過熱加工變形和損傷最小化，形成穩(wěn)定的加工槽。
操作性
采用17英寸觸摸屏+GUI（圖形用戶界面）。
只需觸摸圖標(biāo)化的按鈕，即可實現(xiàn)簡單操作和舒適操作。
搭載與AD/SS系列相同的操作體系，方便使用。
規(guī)格
| 裝置名 | AL3000 | |
| 加工方式 | 消融 | |
| 激光發(fā)生器 | 半導(dǎo)體激光激勵 Q開關(guān)固體激光 | |
| 波長 | 355 納米 | |
| 最大工作尺寸 | 直徑 305 毫米 | |
| 加工可能范圍 | 310 毫米 x 310 毫米 | |
| X 軸 | 最高速度 | 1,000 毫米/秒 |
| Y 軸 | 最高速度 | 300 毫米/秒 |
| 控制分解能 | 0.078 微米 | |
| Z 軸 | Z 軸最高速度 | 10 毫米/秒 |
| Z軸重復(fù)精度 | 1.0 微米 | |
| θ軸 | θ軸 最大旋轉(zhuǎn)角度 | 380.0 度 |
| 電壓 | (V)三相AC200 ～ 220V ± 10％ 50/60Hz 以上條件下需要變壓器 |
| 消耗電力 | 2.0 kVA（參考值） |
| 空氣供應(yīng)壓力 | 0.5 ～ 0.7 兆帕 |
| 空氣平均消費量 | 400 升/分鐘 |
| N2 供給壓力 | 0.3 ～ 0.5 兆帕 |
| N2 平均消費量 | 30 升/分鐘 |
| 純水供應(yīng)壓力 | 0.3 ～ 0.5 兆帕 |
| 純水最大消費流量 | 6.0 升/分鐘 |
| 排氣量 | 4.0 以上 米3/分鐘 |
| 裝置外形尺寸 WxDxH | 1,645 毫米 x 1,680 毫米 x 1,800 毫米 |
| 裝置重量 | 2,500 公斤 |
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