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始創(chuàng)于1949年日本，主要從事半導(dǎo)體加工設(shè)備制造及精密測量儀器制造及開發(fā)的企業(yè)，其產(chǎn)品應(yīng)用于航空航天、芯片制造行業(yè)，于1994年進(jìn)入國內(nèi)市場
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日本ACCRETECH東京精密半導(dǎo)體設(shè)備SS11產(chǎn)品參數(shù)
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本ACCRETECH東京精密半導(dǎo)體設(shè)備SS11詳細(xì)信息
日本ACCRETECH東京精密半導(dǎo)體設(shè)備SS11
日本ACCRETECH東京精密半導(dǎo)體設(shè)備SS11
特長
緊湊型設(shè)計(jì) Φ150mm晶圓兼容減薄機(jī)
追求窄幅設(shè)計(jì)，大幅提高多臺設(shè)備并排布置時(shí)的單位面積生產(chǎn)力。
高性能?高出力 spindle 標(biāo)準(zhǔn)配備
額定功率1.8kW，最高轉(zhuǎn)速60,000rpm。
額定功率2.2kW 的高扭矩 spindle 也可以作為選項(xiàng)配備。
從 Si 到電子元件，支持各種設(shè)備的切割。
提高生產(chǎn)力（吞吐量）
剛性提升+ X軸伺服電機(jī)化
實(shí)現(xiàn)緊湊型占地面積與高吞吐量
操作性
采用17英寸觸摸屏+GUI（圖形用戶界面）。
只需觸摸圖標(biāo)化的按鈕，即可實(shí)現(xiàn)簡單操作和舒適操作。
搭載與AD/SS系列相同的操作體系，方便使用。
規(guī)格
| 最大工作尺寸 | 直徑150毫米 |
| 主軸布局 | 單軸 |
| 主軸定格 | 1.8千瓦 |
| 主軸 最高轉(zhuǎn)速 | 60,000 轉(zhuǎn)/分鐘 |
| X軸 送入速度輸入范圍 | 0.1-300 毫米/秒 |
| X軸 速度返回 | 750 毫米/秒 |
| Y軸 分解能 | 0.0001 毫米 |
| Y軸 位置精度 | 0.002 毫米/162 毫米 |
| Z軸 重復(fù)精度 | 0.001 毫米 |
| Z軸 標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)刀片徑 | Φ48-60 毫米 |
| 規(guī)格 尺寸（W x D x H） | 495 毫米 x 880 毫米 x 1,715 毫米 |
| 規(guī)格 質(zhì)量 | 389 公斤 |
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