廣東眾志檢測儀器半導(dǎo)體芯片老化測試設(shè)備，分別針對常規(guī)高溫測試、高溫壽命測試、無氧高溫制程、潔凈高溫制程等不同場景，滿足半導(dǎo)體行業(yè)從研發(fā)到生產(chǎn)的全流程測試需求，覆蓋90%以上的半導(dǎo)體芯片老化測試場景。眾志雙層潔凈無塵烘箱適用于晶圓 / 芯片烘烤、光刻膠固化、封裝前潔凈干燥等場景，可在 Class 1000 潔凈等級環(huán)境下進(jìn)行高溫處理，有效避免灰塵等雜質(zhì)對半導(dǎo)體產(chǎn)品造成污染。

半導(dǎo)體無塵潔凈烘箱基礎(chǔ)參數(shù)

●溫度工作范圍：室溫+50℃~250℃

●溫度控制方式：PID閉環(huán)控制+SSR 驅(qū)動

●控制系統(tǒng)：HMl+PLC 電氣控制系統(tǒng)

●控溫精度：±0.5℃

●溫度均勻性：±2%℃(空載)

●升溫速率：4℃/min

●潔凈等級：Class 1000

        廣東眾志檢測儀器半導(dǎo)體芯片老化測試設(shè)備，分別針對常規(guī)高溫測試、高溫壽命測試、無氧高溫制程、潔凈高溫制程等不同場景，滿足半導(dǎo)體行業(yè)從研發(fā)到生產(chǎn)的全流程測試需求，覆蓋90%以上的半導(dǎo)體芯片老化測試場景。眾志雙層潔凈無塵烘箱適用于晶圓 / 芯片烘烤、光刻膠固化、封裝前潔凈干燥等場景，可在 Class 1000 潔凈等級環(huán)境下進(jìn)行高溫處理，有效避免灰塵等雜質(zhì)對半導(dǎo)體產(chǎn)品造成污染。在某晶圓制造企業(yè)的光刻膠固化項(xiàng)目中，該設(shè)備幫助企業(yè)提升產(chǎn)品良率 2.5%，提升產(chǎn)品質(zhì)量與可靠性。

半導(dǎo)體無塵潔凈烘箱特點(diǎn) 

　●潔凈環(huán)境保障：潔凈等級達(dá) Class1000，滿足半導(dǎo)體行業(yè)對潔凈度的嚴(yán)苛要求，確保產(chǎn)品在烘烤與固化過程中不受灰塵等雜質(zhì)影響，顆粒物含量低于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)20%；

　●雙箱體獨(dú)立運(yùn)行：采用兩箱體設(shè)計(jì)，每個箱體可獨(dú)立運(yùn)行，可同時進(jìn)行不同溫度或不同工藝的試驗(yàn)，提升設(shè)備利用率與生產(chǎn)效率，設(shè)備利用率比傳統(tǒng)單箱體設(shè)備提升 50%;

　●精準(zhǔn)溫控系統(tǒng)：溫度工作范圍為室溫 +50°C~250°C，PID 閉環(huán)控制+SSR驅(qū)動，控溫精度±0.5°C，溫度均勻性±2%°C (空載)，確保每個箱體的溫度穩(wěn)定性與均勻性，溫度誤差率低于 1%；

　●高效升溫設(shè)計(jì)：升溫速率可達(dá)4°C/min，搭配優(yōu)化的加熱系統(tǒng)與風(fēng)道設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)快速升溫，縮短制程周期，比傳統(tǒng)設(shè)備制程效率提升15%；

　●智能控制與通訊：HMI+PLC電氣控制系統(tǒng)，操作便捷，支持 RS485/RJ45通訊協(xié)議，便于實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)管理，可與工廠MES系統(tǒng)無縫對接；

　●靈活樣品配置：每個箱體配置2個不銹鋼支層架，層架間距可調(diào)節(jié)，滿足不同尺寸樣品的測試需求，適配 85%以上的晶圓與芯片樣品尺寸。

執(zhí)行與滿足標(biāo)準(zhǔn)及試驗(yàn)方法 

　   ●符合 Class 1000 潔凈等級相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

　　●GJB150.3A-2009 高溫試驗(yàn)

　　●IEC60068-2-2:2007 試驗(yàn) Bb: 高溫

　　●JEDEC JESD22-A108 高溫工作壽命試驗(yàn)

　　●GB/T 11158-1989 高溫試驗(yàn)箱技術(shù)條件

　　●半導(dǎo)體行業(yè)潔凈環(huán)境高溫試驗(yàn)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)