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氮質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度zui高,用得zui普遍的檢漏儀器。氦質譜檢漏儀是磁偏轉型的質譜分析計。單級磁偏轉型儀器靈敏度
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