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氦氣檢漏：
又快又準，漏點無處藏
太陽能電池技術(shù)飛速發(fā)展，但設備泄漏成為重大挑戰(zhàn)。以PECVD為例，泄漏會導致反應腔氣體成分和壓力失控，在HJT電池制造中會造成非晶硅鈍化層生長不均，導致開路電壓和填充因子下降，光電轉(zhuǎn)換效率大幅降低。
UL6000 Fab 移動式氦氣檢漏儀
專為大型工藝工具設計，搭載英福康 I·CAL 和 HYDRO·S 軟件算法。緊湊機身可靈活穿梭于復雜產(chǎn)線，在所有測量范圍內(nèi)都能實現(xiàn)行業(yè)**的響應速度，讓泄漏檢測既準確又高效。
SMART-Spray 無線氦氣噴槍
告別軟管束縛和手動流量調(diào)節(jié)。無線自由，操作靈活，即使在狹窄的潔凈室空間內(nèi)也能精準定位漏點。兼容全系列 UL 檢漏儀，是 UL6000 Fab 的*佳搭檔。
薄膜沉積控制：
鈣鈦礦共沉積的“精算師"
鈣鈦礦太陽能電池的大規(guī)模制造，極度依賴納米級超薄膜層和共沉積技術(shù)。
Cygnus® 2 薄膜沉積控制器應運而生：
可同時控制多達六個材料源，滿足復雜共沉積工藝需求；
Auto-Z™ 功能實時計算未知材料的 Z 比值，無需再依賴猜測；
在超低沉積速率下仍能提供穩(wěn)定、實時的數(shù)據(jù)反饋；
支持從實驗室順利過渡到量產(chǎn)設備，保障產(chǎn)品一致性。
真空計系列：
全量程覆蓋，精準掌控每一道壓力
從大氣壓到超高真空，英?？嫡婵沼嫗楣夥圃烊鞒烫峁┛煽繑?shù)據(jù)支撐。
CDG020D
電容式壓力計
氧化鋁陶瓷傳感器，結(jié)構(gòu)緊湊，不受氣體類型影響；
CDG025D
電容式壓力計
防腐蝕陶瓷傳感器，零點穩(wěn)定性出色，可承受數(shù)百萬次壓力循環(huán)；
PSG500
皮拉尼真空計
數(shù)字 Pirani 技術(shù)，不銹鋼傳感器堅固耐用；
BAG552
熱電離真空計
Bayard-Alpert 測量系統(tǒng)，雙燈絲設計，精度、重復性與壽命俱佳。
無論您的工藝是 PECVD、PVD 還是蒸發(fā)鍍膜，都能在這里找到適合的那一款真空計。
殘余氣體分析儀：
ppm 級監(jiān)測，為真空腔體筑牢防線
在高效電池的制造過程中，腔體內(nèi)微量的污染氣體或空氣泄漏，都可能引發(fā)批次性良率下降，甚至導致整爐產(chǎn)品報廢。及時發(fā)現(xiàn)并控制這些“隱形威脅"，是保障工藝穩(wěn)定性的關(guān)鍵。
Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀：可在 20 mTorr 高壓環(huán)境下直接工作，70eV 電子轟擊電離生成獨特的質(zhì)譜峰分布。空氣漏點、氣體純度、碳氫化合物污染——實時捕捉，快速響應。
Transpector® MPH 則支持多氣體并行監(jiān)測，廣泛用于真空工藝、薄膜沉積等場景，穩(wěn)穩(wěn)守護工藝穩(wěn)定與質(zhì)量控制。
從 PECVD 到 PVD，RGA 技術(shù)正以 ppm 級精度構(gòu)建全鏈條質(zhì)量保障體系。
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