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日本康肯處理設(shè)備高濃度氫氣處理廢氣

KT1000EPS 是日本 KANKEN Techno 專(zhuān)為半導(dǎo)體外延工藝（如 SiC）開(kāi)發(fā)的高濃度氫氣處理廢氣處理裝置，采用獨(dú)特的 “自維持燃燒 + 前后洗滌” 工藝，可安全、高效地處理外延工藝中產(chǎn)生的高濃度氫氣及含氯、含硫等復(fù)雜廢氣，是功率器件與第三代半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵環(huán)保設(shè)備。

日本康肯處理設(shè)備高濃度氫氣處理廢氣

五大核心產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. 氫氣自維持燃燒，節(jié)能設(shè)計(jì)大幅降低能耗

利用可燃?xì)怏w（氫氣）的自維持燃燒特性，當(dāng)引入高濃度氫氣時(shí)，加熱器功率幾乎為零，無(wú)需持續(xù)電加熱，大幅降低運(yùn)行能耗，是高氫氣工藝的節(jié)能 方案。

2. 高濃度氫氣處理專(zhuān)用安全設(shè)計(jì)，杜絕工藝風(fēng)險(xiǎn)

搭載 KANKEN  高濃度氫氣處理電加熱器安全設(shè)計(jì)，可安全處理外延工藝中的高濃度氫氣廢氣，無(wú)燃燒中斷風(fēng)險(xiǎn)，對(duì)流量波動(dòng)具備 抵抗力，適配工藝流量變化。

3. 前后雙向洗滌工藝，無(wú)堵塞處理復(fù)雜廢氣

入口洗滌器預(yù)先去除水解氣體與可溶性氣體，出口洗滌器消除燃燒副產(chǎn)物，可無(wú)堵塞處理與水分反應(yīng)形成固體的氣體（如 TCS、DCS），避免設(shè)備堵塞停機(jī)，保障產(chǎn)線連續(xù)運(yùn)行。

4. 適配 SiC 等第三代半導(dǎo)體外延工藝，工藝兼容性強(qiáng)

專(zhuān)為半導(dǎo)體外延工藝（含 SiC）設(shè)計(jì)，可穩(wěn)定處理高濃度氫氣及外延工藝產(chǎn)生的復(fù)雜廢氣，在功率器件、SiC/GaN 等第三代半導(dǎo)體制造工藝中擁有成熟驗(yàn)證業(yè)績(jī)。

5. 多腔連接支持，適配大規(guī)模產(chǎn)線部署

支持多腔連接，可同時(shí)對(duì)接多臺(tái)外延設(shè)備，減少單腔設(shè)備數(shù)量，降低產(chǎn)線部署成本與占地面積，是大規(guī)模功率器件產(chǎn)線的理想選擇。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體 / 功率器件行業(yè)：SiC、GaN 等第三代半導(dǎo)體外延工藝廢氣處理，高濃度氫氣無(wú)害化處理。

電子制造行業(yè)：功率器件外延工藝、IGBT 制造過(guò)程中的廢氣處理。

先進(jìn)半導(dǎo)體工廠：含高濃度氫氣的工藝廢氣處理，適配高密度潔凈廠房部署。