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英?？邓拇蟆白饭饫鳌钡菆?！從氦檢到質(zhì)譜，助您攻克光伏量產(chǎn)難題
氦氣檢漏：
又快又準(zhǔn)，漏點(diǎn)無處藏
太陽能電池技術(shù)飛速發(fā)展，但設(shè)備泄漏成為重大挑戰(zhàn)。以PECVD為例，泄漏會(huì)導(dǎo)致反應(yīng)腔氣體成分和壓力失控，在HJT電池制造中會(huì)造成非晶硅鈍化層生長不均，導(dǎo)致開路電壓和填充因子下降，光電轉(zhuǎn)換效率大幅降低。
UL6000 Fab 移動(dòng)式氦氣檢漏儀
專為大型工藝工具設(shè)計(jì)，搭載英?？?nbsp;I·CAL 和 HYDRO·S 軟件算法。緊湊機(jī)身可靈活穿梭于復(fù)雜產(chǎn)線，在所有測量范圍內(nèi)都能實(shí)現(xiàn)行業(yè)**的響應(yīng)速度，讓泄漏檢測既準(zhǔn)確又高效。
SMART-Spray 無線氦氣噴槍
告別軟管束縛和手動(dòng)流量調(diào)節(jié)。無線自由，操作靈活，即使在狹窄的潔凈室空間內(nèi)也能精準(zhǔn)定位漏點(diǎn)。兼容全系列 UL 檢漏儀，是 UL6000 Fab 的*佳搭檔。
薄膜沉積控制：
鈣鈦礦共沉積的“精算師”
鈣鈦礦太陽能電池的大規(guī)模制造，極度依賴納米級(jí)超薄膜層和共沉積技術(shù)。
Cygnus® 2 薄膜沉積控制器應(yīng)運(yùn)而生：
可同時(shí)控制多達(dá)六個(gè)材料源，滿足復(fù)雜共沉積工藝需求；
Auto-Z™ 功能實(shí)時(shí)計(jì)算未知材料的 Z 比值，無需再依賴猜測；
在超低沉積速率下仍能提供穩(wěn)定、實(shí)時(shí)的數(shù)據(jù)反饋；
支持從實(shí)驗(yàn)室順利過渡到量產(chǎn)設(shè)備，保障產(chǎn)品一致性。
真空計(jì)系列：
全量程覆蓋，精準(zhǔn)掌控每一道壓力
從大氣壓到超高真空，英?？嫡婵沼?jì)為光伏制造全流程提供可靠數(shù)據(jù)支撐。
CDG020D
電容式壓力計(jì)
氧化鋁陶瓷傳感器，結(jié)構(gòu)緊湊，不受氣體類型影響；
CDG025D
電容式壓力計(jì)
防腐蝕陶瓷傳感器，零點(diǎn)穩(wěn)定性出色，可承受數(shù)百萬次壓力循環(huán)；
PSG500
皮拉尼真空計(jì)
數(shù)字 Pirani 技術(shù)，不銹鋼傳感器堅(jiān)固耐用；
BAG552
熱電離真空計(jì)
Bayard-Alpert 測量系統(tǒng)，雙燈絲設(shè)計(jì)，精度、重復(fù)性與壽命俱佳。
無論您的工藝是 PECVD、PVD 還是蒸發(fā)鍍膜，都能在這里找到適合的那一款真空計(jì)。
殘余氣體分析儀：
ppm 級(jí)監(jiān)測，為真空腔體筑牢防線
在高效電池的制造過程中，腔體內(nèi)微量的污染氣體或空氣泄漏，都可能引發(fā)批次性良率下降，甚至導(dǎo)致整爐產(chǎn)品報(bào)廢。及時(shí)發(fā)現(xiàn)并控制這些“隱形威脅”，是保障工藝穩(wěn)定性的關(guān)鍵。
Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀：可在 20 mTorr 高壓環(huán)境下直接工作，70eV 電子轟擊電離生成獨(dú)特的質(zhì)譜峰分布?？諝饴c(diǎn)、氣體純度、碳?xì)浠衔镂廴尽獙?shí)時(shí)捕捉，快速響應(yīng)。
Transpector® MPH 則支持多氣體并行監(jiān)測，廣泛用于真空工藝、薄膜沉積等場景，穩(wěn)穩(wěn)守護(hù)工藝穩(wěn)定與質(zhì)量控制。
從 PECVD 到 PVD，RGA 技術(shù)正以 ppm 級(jí)精度構(gòu)建全鏈條質(zhì)量保障體系。
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