核心參數(shù)

1. 工作原理：氮?dú)怛?qū)動(dòng)噴射式負(fù)壓發(fā)生，依靠流體壓差形成穩(wěn)定負(fù)壓環(huán)境

2. 內(nèi)置機(jī)構(gòu)：集成一體式高壓減壓模塊，緩沖前端高壓介質(zhì)再完成負(fù)壓抽取

3. 密封規(guī)格：全金屬硬密封閥組，搭配金屬墊片焊接管路接口，適配高純氣體工況

4. 潔凈標(biāo)準(zhǔn)：閥體內(nèi)部無(wú)潤(rùn)滑油脂、無(wú)積水滯留空間，出廠零部件超聲波脫脂清洗

5. 耐壓區(qū)間：減壓入口可承受高壓介質(zhì)輸入，輸出端自動(dòng)降壓至低壓區(qū)間排放

6. 泄漏表現(xiàn)：氦檢標(biāo)準(zhǔn)低泄漏等級(jí)，滿足半導(dǎo)體特氣設(shè)備密封性管控要求

7. 驅(qū)動(dòng)介質(zhì)：工業(yè)高純氮?dú)庾鳛轵?qū)動(dòng)氣源，適配廠區(qū)常規(guī)氮?dú)夤┙o管路

8. 適配工況：常溫潔凈無(wú)塵車間環(huán)境，可長(zhǎng)期連續(xù)開(kāi)展廢氣抽吸作業(yè)

日本yutaka crown 安全型噴射真空發(fā)生器

適用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體氣瓶柜廢氣負(fù)壓抽吸

   各類蝕刻、摻雜特氣氣瓶配套負(fù)壓抽取，氮?dú)庀♂審U氣后安全外排，適配日本原廠半導(dǎo)體氣柜成套管路系統(tǒng)，降低特氣集聚風(fēng)險(xiǎn)。

2. 晶圓制程高純管路抽真空

   擴(kuò)散、薄膜沉積設(shè)備配套管路負(fù)壓采集，全程禁油無(wú)水構(gòu)造，不會(huì)污染晶圓工藝介質(zhì)，可搭配德國(guó)進(jìn)口高純接頭組件組裝管路。

3. 光伏電池高溫?cái)U(kuò)散爐尾氣回收

   管式爐工藝廢氣負(fù)壓抽吸，穩(wěn)定負(fù)壓保障爐內(nèi)氣氛均勻，適配美國(guó)光伏自動(dòng)化流體控制系統(tǒng)。

4. 高校新材料高壓氣體實(shí)驗(yàn)艙

   特種氣體反應(yīng)腔體尾氣管控，低泄漏閥體避免實(shí)驗(yàn)介質(zhì)外泄，滿足多國(guó)實(shí)驗(yàn)室潔凈流體安全規(guī)范。

5. 電子特氣儲(chǔ)存柜配套設(shè)備

   混合氣體、腐蝕性特種氣體儲(chǔ)存柜體負(fù)壓通風(fēng)，持續(xù)置換柜內(nèi)殘留氣體，優(yōu)化車間作業(yè)安全環(huán)境。

6. 精密分析儀器管路負(fù)壓配套

   氣相、質(zhì)譜分析設(shè)備管路負(fù)壓生成，潔凈通路不會(huì)引入油污雜質(zhì)，保障儀器檢測(cè)基線穩(wěn)定。

7. 化工高純?cè)噭┹斔凸苈放艢?/span>

   電子級(jí)化學(xué)品輸送管路殘留氣體抽吸，不銹鋼耐腐閥體適配弱腐蝕氣態(tài)介質(zhì)。

使用優(yōu)勢(shì)

1. 內(nèi)置減壓一體結(jié)構(gòu)，簡(jiǎn)化管路配件布局

   閥體集成減壓?jiǎn)卧?，無(wú)需額外加裝前置調(diào)壓閥，高壓介質(zhì)進(jìn)入設(shè)備自動(dòng)緩沖降壓，減少管路零散元件，縮小氣柜內(nèi)部安裝占用空間。

2. 禁油無(wú)水無(wú)滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，適配超高潔凈制程

   內(nèi)部不存在相互摩擦滑動(dòng)部件，全程無(wú)油脂潤(rùn)滑設(shè)計(jì)，出廠經(jīng)過(guò)專業(yè)脫脂清洗，不會(huì)產(chǎn)生油污微粒污染晶圓、特氣工藝通路。

3. 氮?dú)庀♂審U氣設(shè)計(jì)，提升管路排放安全性

   抽取的工藝廢氣會(huì)與驅(qū)動(dòng)氮?dú)獬浞只旌舷♂尯笈懦觯档凸苈穬?nèi)危險(xiǎn)氣體濃度，減少管路集聚帶來(lái)的安全隱患，適配密閉氣瓶柜狹小空間。

4. 金屬硬密封 + 焊接接口，適配高壓高純工況

   金屬墊片焊接式管路接頭搭配金屬密封閥組，可對(duì)接高壓高純氣體管路，長(zhǎng)期使用密封狀態(tài)穩(wěn)定，滿足半導(dǎo)體行業(yè)氦檢低泄漏標(biāo)準(zhǔn)。

5. 緊湊型小型閥體，狹小柜體靈活安裝

   整機(jī)閥式小型化造型，氣瓶柜、設(shè)備內(nèi)部狹小管路夾層均可布設(shè)，新舊產(chǎn)線氣柜改造無(wú)需大幅調(diào)整內(nèi)部管路布局。

6. 噴射式簡(jiǎn)易流體結(jié)構(gòu)，維護(hù)工作量低

   依靠流體壓差實(shí)現(xiàn)負(fù)壓，無(wú)電機(jī)、活塞等易損耗運(yùn)動(dòng)部件，長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行無(wú)需頻繁拆解保養(yǎng)，延長(zhǎng)設(shè)備運(yùn)維周期。

7. 兼容多國(guó)標(biāo)準(zhǔn)高純管路配件

   標(biāo)準(zhǔn)外螺紋焊接接頭規(guī)格通用，日本、德國(guó)、美國(guó)主流高純氣體管路接頭、調(diào)壓閥均可直接配套組裝，管路改造適配門檻更低。

8. 不銹鋼全通路閥體，耐多種氣態(tài)介質(zhì)腐蝕

   整體不銹鋼通路構(gòu)造，可應(yīng)對(duì)多數(shù)半導(dǎo)體工藝弱腐蝕特氣，閥體通路不易出現(xiàn)氧化、介質(zhì)附著堆積。