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產(chǎn)地類別	進口	價格區(qū)間	1-5萬
應用領域	綜合

日本sanvac 真空沉積設備精密蒸鍍成膜裝置

產(chǎn)品概述

兩大系列設備均基于高真空蒸鍍原理設計，依托成熟的真空機組構(gòu)建密閉高真空環(huán)境，有效避免鍍膜過程中材料氧化、雜質(zhì)混入，保障薄膜純度與附著力。RD 系列以電阻加熱蒸發(fā)為核心，結(jié)構(gòu)精簡、性價比突出，細分多款機型，可針對性適配單一材料或多層薄膜實驗，部分機型配備前置腔體，能夠在不破壞主腔真空的前提下完成基板更換，提升作業(yè)效率。ED 系列在電阻加熱基礎上集成電子束蒸發(fā)系統(tǒng)，蒸發(fā)能力更強，可處理高熔點材料，同時搭載基板加熱、基板旋轉(zhuǎn)等輔助機構(gòu)，工藝拓展性更強，自動化程度更高，從參數(shù)調(diào)節(jié)到整道鍍膜工序均可實現(xiàn)自動化運行，適配從小樣試制到中小批量量產(chǎn)的全流程使用。整機按照工業(yè)標準打造，腔體密封可靠，長期運行穩(wěn)定性強，維護體系完整。

結(jié)構(gòu)與設計

設備整體采用一體化柜體結(jié)構(gòu)，腔體選用高強度材質(zhì)加工而成，密封工藝精良，能夠長時間維持穩(wěn)定真空環(huán)境，抽氣效率高，真空恢復速度快。RD 系列內(nèi)部搭載多組電阻加熱蒸發(fā)源，布局緊湊合理，不同機型配置蒸發(fā)源數(shù)量不同，可支持單源或雙源同步成膜，電氣部分采用晶閘管調(diào)控，加熱功率調(diào)節(jié)精準。ED 系列融合雙套蒸發(fā)系統(tǒng)，電子槍與電阻加熱單元分區(qū)布置，互不干擾，坩堝配置豐富，可切換不同鍍膜原料。兩款系列均配備可視化操作面板，功能分區(qū)清晰，參數(shù)設置簡單直觀；基板工位經(jīng)過優(yōu)化，部分機型支持基板升降、旋轉(zhuǎn)與加熱，受熱均勻，進一步提升整片薄膜的一致性。設備管路、線路規(guī)整排布，防護措施到位，爐門啟閉順暢，密封配件耐用，日常檢修、部件更換都十分便捷。

日本sanvac 真空沉積設備精密蒸鍍成膜裝置

核心功能

RD 系列依靠電阻加熱實現(xiàn)材料蒸發(fā)，支持多種頻率與功率調(diào)節(jié)，可在真空環(huán)境下直接完成多層膜連續(xù)制備，標配晶體振蕩式膜厚計，實時監(jiān)測并控制薄膜厚度，部分教學機型簡化功能布局，便于真空相關理論與實操教學；有機材料專用機型搭載獨立有機蒸發(fā)單元，專門適配有機薄膜沉積工藝。ED 系列兼具電阻加熱與電子束蒸發(fā)兩大模式，可靈活切換使用，既能完成常規(guī)金屬鍍膜，也可實現(xiàn)高熔點介質(zhì)、半導體材料的成膜作業(yè)。全系設備擁有全自動真空排氣、泄壓流程，鍍膜全過程可預設程序自動執(zhí)行，減少人為操作帶來的誤差?；寮訜峁δ芸砂葱栝_啟，滿足不同工藝對基底溫度的要求，搭配對應的夾持結(jié)構(gòu)，也可適配多種規(guī)格基板裝夾。

產(chǎn)品優(yōu)勢

設備真空性能出色，成膜環(huán)境純凈，薄膜表面光潔、厚度均勻，成品品質(zhì)優(yōu)異。RD 系列機型豐富，針對性強，機身占地小，能耗合理，使用門檻低，非常適合實驗室、院校及小型研發(fā)機構(gòu)使用。ED 系列復合式蒸發(fā)設計，工藝兼容性廣，一機多用，大幅降低設備采購成本，自動化程度高，可連續(xù)作業(yè)，適配中試及小批量生產(chǎn)場景。核心元器件均為原廠配套，整機故障率低，使用壽命長久。設備操作邏輯簡單，新手經(jīng)過簡單培訓即可上手，日常保養(yǎng)流程簡易，綜合使用成本低。兩大系列覆蓋不同定位，可根據(jù)工藝要求、產(chǎn)能規(guī)模靈活選型，適配性強。

應用場景

RD 系列廣泛應用于各大院校、科研機構(gòu)的真空技術教學、新材料實驗研發(fā)，可用于鈣鈦礦電池電極、牙科專用鍍膜、各類有機薄膜、常規(guī)貴金屬薄膜的制備。ED 系列多用于光電元器件、光學鏡片、半導體零部件、精密電子器件的鍍膜加工，同時也可承接各類金屬、氧化物復合薄膜的試制與量產(chǎn)，服務于光電、半導體、精密制造、新材料研發(fā)等多個行業(yè)。

使用與維護

開機前全面檢查腔體密封、真空管路、蒸發(fā)源及電路系統(tǒng)，確認各部件狀態(tài)正常。根據(jù)鍍膜材料與工藝要求，選擇對應工作模式，放置基板與鍍膜原料，關閉爐門后啟動預設程序。作業(yè)過程中留意真空度、溫度、膜厚等參數(shù)變化，工序完成后嚴格按照降溫、泄壓、破除真空的規(guī)范流程操作，再取出成品。日常使用時定期清理腔體內(nèi)殘留的鍍膜碎屑，檢查密封件、線纜及蒸發(fā)源狀態(tài)，及時更換老化配件。長期停機時保持腔體內(nèi)部干燥潔凈，定期進行空載抽真空試運行，防止部件受潮老化，保障設備隨時可正常啟用。

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