? ULPA 三層過濾，0.12μm 微塵 99.999% 攔截

半導(dǎo)體車間的硅屑、焊錫殘渣、氣溶膠等微塵，極易導(dǎo)致電路短路、晶圓劃傷。KTV-CR1-SUS 采用一次性濾袋（7.6L）→布過濾器→ULPA 終端過濾的三層遞進結(jié)構(gòu)，對 0.12μm 及以上顆粒物過濾效率達 99.999%。無論是細微粉塵還是氣溶膠，均能精準(zhǔn)攔截，排氣潔凈度符合 ISO 4 級標(biāo)準(zhǔn)，從根源減少二次污染，守護晶圓與精密元件安全。

??? 全 SUS304 不銹鋼 + 密封結(jié)構(gòu)，適配嚴(yán)苛潔凈環(huán)境

整機采用SUS304 不銹鋼機身，耐腐蝕、低析出、易擦拭滅菌，無衛(wèi)生死角，符合 GMP 與 ASTM E595 釋氣要求，長期使用不易變形、掉漆，減少粉塵殘留與堆積。全密封一體式設(shè)計，出廠前經(jīng)過嚴(yán)格氣溶膠泄漏檢測，吸塵過程有效防止粉塵外逸，改善傳統(tǒng)設(shè)備排氣帶塵問題，保障潔凈室環(huán)境穩(wěn)定。

? 防靜電 + EMI 屏蔽，不干擾精密芯片與儀器

半導(dǎo)體設(shè)備對靜電與電磁干擾極度敏感。KTV-CR1-SUS整機防靜電接地，表面電阻≤10?Ω，符合 IEC 61340-5-1 標(biāo)準(zhǔn)，有效抑制靜電放電，規(guī)避芯片受損風(fēng)險。同時搭載EMI/RFI 電磁屏蔽，運行時不干擾光刻機、檢測設(shè)備等精密儀器，確保生產(chǎn)過程穩(wěn)定，降低產(chǎn)品不良率。

?? 緊湊低噪 + 高效易維護，適配 24 小時連續(xù)作業(yè)

機身尺寸 410×410×560mm，凈重僅 9kg，搭配腳輪設(shè)計，可靈活穿梭于設(shè)備縫隙、車間角落，狹小空間作業(yè)無壓力。690W 低功耗，吸力達 20.5kPa，風(fēng)量 2.3m3/min，兼顧高效與節(jié)能；2 米處噪音≤60dB (A)，運行安靜，不影響精密作業(yè)。7.6L 大容量一次性濾袋，更換便捷無污染，無需頻繁維護，適配半導(dǎo)體產(chǎn)線 24 小時連續(xù)運行，減少綜合運維成本。

?? 半導(dǎo)體全場景適配，筑牢潔凈生產(chǎn)防線

• ? 光刻區(qū) / 晶圓切割：清除硅粉、微粒，減少光刻缺陷與晶圓劃痕；

• ? 封裝 / 測試工位：吸附焊錫殘渣、粉塵，保障引腳清潔與測試精準(zhǔn)；

• ? 潔凈室日常維護：高效清理地面、設(shè)備表面微塵，維持 ISO 4 級潔凈度；

• ? 精密電子 / 芯片車間：適配高潔凈度要求，守護微小元件生產(chǎn)安全。

  
  

從高等級精密過濾防微塵到密封防靜電保障生產(chǎn)，從低噪節(jié)能穩(wěn)運行到便捷維護降成本，KOTOHIRA 琴平 KTV-CR1-SUS 以扎實性能，滿足半導(dǎo)體行業(yè)超高潔凈標(biāo)準(zhǔn)，是潔凈室除塵的優(yōu)質(zhì)選擇，助力企業(yè)提質(zhì)增效、綠色生產(chǎn)。

納加霍里科技（深圳）有限公司作為KOTOHIRA琴平在國內(nèi)正規(guī)授權(quán)代理商，可為客戶提供選型匹配、批量供貨、技術(shù)咨詢及售后維保等一站式服務(wù)，助力企業(yè)優(yōu)化設(shè)備配套方案。如需了解詳細技術(shù)資料、獲取選型建議，歡迎隨時與我們聯(lián)系。