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宮崎科技（廈門）有限公司
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EST500WN高速低功耗干式真空泵
| 參考價: | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- EST500WN 產(chǎn)品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：10更新時間：2026-06-15 11:47:39
馮女士
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品類型 | 無油泵 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
該干式真空泵適用于中等工藝，配備Ebara獨特的節(jié)能技術(shù)，采用優(yōu)化自動化工廠制造的模塊設(shè)計，實現(xiàn)進一步的小型化和節(jié)能。
憑借廣泛的溫度控制能力，它擴展了適用的工藝。同一模型可以涵蓋多個過程;因此，備用機器庫存可以優(yōu)化，維護和培訓(xùn)可以減少，流程未來也能靈活擴展。此外，通過對每個工藝進行溫控，工藝電阻也得以提升
產(chǎn)品介紹
EBARA在高速干式真空泵方面的優(yōu)勢
節(jié)能且緊湊的設(shè)計。令人安心的全球支持和豐富的產(chǎn)品線
Ebara干式真空泵以節(jié)能和小巧著稱，廣泛應(yīng)用于多個領(lǐng)域。獨特優(yōu)化的轉(zhuǎn)子設(shè)計提升了壓縮效率，實現(xiàn)了低功耗。由于其緊湊輕便的設(shè)計，能夠在有限空間內(nèi)安裝，且易于搬運。我們已在全球出貨超過20萬臺*，活躍于多個領(lǐng)域，主要集中在半導(dǎo)體行業(yè)，對性能和可靠性的要求非常嚴格。
此外，我們在全球擁有50多個維修點，提供可靠的全球支持。您可以選擇我們豐富產(chǎn)品線中最合適的車型，從行業(yè)最高標準的緊湊輕量車型，到氫氣排氣車型，以及兼容產(chǎn)生反應(yīng)性副產(chǎn)品的高負載兼容車型。
特色與優(yōu)勢
該干式真空泵適用于中等工藝，配備Ebara獨特的節(jié)能技術(shù)，采用優(yōu)化自動化工廠制造的模塊設(shè)計，實現(xiàn)進一步的小型化和節(jié)能。
憑借廣泛的溫度控制能力，它擴展了適用的工藝。同一模型可以涵蓋多個過程;因此，備用機器庫存可以優(yōu)化，維護和培訓(xùn)可以減少，流程未來也能靈活擴展。此外，通過對每個工藝進行溫控，工藝電阻也得以提升，并通過延長零件更換周期來降低TCoO。
適用的應(yīng)用包括各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延等。
日本EBARA/荏高速低功耗干式真空泵
日本EBARA/荏高速低功耗干式真空泵
EST系列
適用于處理反應(yīng)副產(chǎn)物并在大容量腔體中快速泵送的干式真空泵
高溫運行控制
高速排氣
大量抽水量
標準采用耐腐蝕材料
增強耐腐蝕選項
高負載應(yīng)用
無論頻率如何（50/60 Hz）泵送性能相同
無油
可獲得CE認證/半級S2/NRTL認證
特色與優(yōu)勢
EST系列采用螺旋式轉(zhuǎn)子，并配備高溫操作功能，以在高溫下維持泵內(nèi)氣體。產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物的應(yīng)用，如CVD。該型號標配耐腐蝕材料，實現(xiàn)高速排氣和大抽油量，并通過減少停機時間提升工藝效率。
| 類型 | 單位 | EST10N | EST25N | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | EST800WN | |
| 冷卻水 | 流量 | L/min | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 溫度 | °C | 最多30人 | 最多30人 | 最多30人 | 最多30人 | 最多30人 | 最多30人 | 最多30人 | |
| 電源 | 功率容量 | kVA | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | 16 |
| 抽水速度 | L/min | 1000 | 2500 | 10000 | 20000 | 30000 | 50000 | 80000 | |
| 壓力 | 2.7 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.5 | ||
| 連接 | 入海口 | NW40 | NW40 | NW50 | NW100 | NW100 | ISO160 | ISO200 | |
| 出口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 極限壓力下的近似功率 | 千瓦 | 2.3 | 3 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | 4.6 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 13~18 | 13~18 | 24~29 | 24~29 | 28~31 | 28~31 | 28~31 |
| 電源相位/電壓/頻率。 | 200V型號 | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 3相/203相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V型號 | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-400伏/50赫茲 三相/380-440伏/60赫茲 | 三相/380-400伏/50赫茲 三相/380-440伏/60赫茲 | 三相/380-400伏/50赫茲 三相/380-440伏/60赫茲 | 三相/380-400伏/50赫茲 三相/380-440伏/60赫茲 | 三相/380-400伏/50赫茲 三相/380-440伏/60赫茲 | - | ||
| 重量 | KG | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | 840 | |
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