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宮崎科技（廈門）有限公司
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ESR20N低功耗干式真空泵設(shè)備
| 參考價: | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- ESR20N 產(chǎn)品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：14更新時間：2026-06-15 17:24:00
馮女士
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品類型 | 無油泵 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
EBARA（荏原）干式真空泵是日本荏原制作所的核心產(chǎn)品，以無油潔凈、高耐腐蝕、節(jié)能低噪著稱，廣泛用于半導(dǎo)體、光伏、化工等高要求工況。
產(chǎn)品介紹
日本EBARA/荏原低功耗干式真空泵設(shè)備優(yōu)勢
無油、干凈的真空
可以從大氣壓到高真空無需定期維護(hù)，如加水或更換機(jī)油
節(jié)能且緊湊的設(shè)計。令人安心的*支持和豐富的產(chǎn)品陣容
Ebara干式真空泵以節(jié)能和小巧著稱，廣泛應(yīng)用于多個領(lǐng)域。獨特優(yōu)化的旋翼設(shè)計提高了壓縮效率，實現(xiàn)了低功耗。由于其緊湊輕便的設(shè)計，能夠安裝在有限的空間內(nèi)，且易于搬遷。我們已向*出貨超過20萬臺*，活躍于多個領(lǐng)域，主要集中在半導(dǎo)體行業(yè)，對性能和可靠性的要求非常嚴(yán)格。
干式真空泵是一種不使用油或液體密封的非接觸式真空泵。它們實現(xiàn)了干凈的真空，沒有水和油的回流或擴(kuò)散。此外，無需定期維護(hù)，如加水或更換水或機(jī)油，操作非常簡單。它是半導(dǎo)體制造工藝和FPD/LED/太陽能電池制造過程中的泵，這些工藝強(qiáng)調(diào)清潔性。近年來，它們的應(yīng)用范圍擴(kuò)大，因為它能夠輕松、干凈地從質(zhì)譜儀和電子顯微鏡等分析儀中提取氣體。此外，由于清潔的真空和便捷的維護(hù)，它們也被應(yīng)用于真空干燥工藝和薄膜沉積工藝等多種領(lǐng)域。
日本EBARA/荏原低功耗干式真空泵設(shè)備
ESR系列
低功耗干式真空泵特色與優(yōu)勢
憑借EBARA獨特的旋翼設(shè)計和怠速功能，ESR系列實現(xiàn)了低功耗和小體積。有助于降低運行成本。憑借增強(qiáng)的耐腐蝕選項，該型號涵蓋從輕載工藝如負(fù)載鎖和SEM到腐蝕工藝的廣泛應(yīng)用。
低功耗干式真空泵，適用于腐蝕性工藝應(yīng)用
低功耗
耐腐蝕材料選項
無論頻率如何（50/60 Hz）泵送性能相同
無油
可獲得CE認(rèn)證/半級S2/NRTL認(rèn)證
規(guī)格
類型 單位 ESR20N ESR30 ESR30N ESR500W（N） 冷卻水 流量 L/min 2~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 溫度 °C 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 電源 功率容量 kVA 4 7 7 12.3 抽水速度 L/min 1300 ~ 2000 3000 3000 46000 壓力 2 0.53 0.67 0.2 連接 入?？?/td> NW40 NW50 NW50 ISO160 出口 NW40 NW40 NW40 NW40 極限壓力下的近似功率 千瓦 0.7 1.7 1.7 3.1 N2 流量 Pa•m3/s 19~22 （0） 19~22 （3.4） 19~22 （3.4） 19~22 （3.4） 電源相位/電壓/頻率。 200V型號 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz400V型號 三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲重量 KG 90 190 190 500
典型應(yīng)用
低功耗干式真空泵選型要點：
抽速：按腔體大小與抽氣時間選擇（50–80000L/min 全覆蓋）。
真空度：一般工藝 1–5Pa，半導(dǎo)體超高潔凈≤0.1Pa。
氣體特性：腐蝕性選 Ni?Resist 材質(zhì)；可凝氣體選帶加熱的 EV?L 系列EBARA CORPORATION。
冷卻方式：小功率風(fēng)冷，大功率水冷。
典型應(yīng)用：
半導(dǎo)體：刻蝕、CVD、MOCVD、離子注入、SiC 工藝。
光伏 / 面板：鍍膜、濺射、真空干燥
化工：腐蝕性氣體輸送、蒸餾、結(jié)晶。
分析儀器：質(zhì)譜、電鏡等高真空系統(tǒng)
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