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宮崎科技（廈門）有限公司
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EV-SA20低功耗的風冷干式真空泵
| 參考價: | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- EV-SA20 產(chǎn)品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：9更新時間：2026-06-15 09:41:19
馮女士
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品類型 | 無油泵 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
干式真空泵是一種不使用油或液體密封的非接觸式真空泵。它們實現(xiàn)了清潔的真空，沒有回流或水和油的擴散。此外，無需定期維護，如補充水或更換水或油，操作非常簡便。它是半導(dǎo)體制造工藝和FPD/LED/太陽能電池制造過程中的泵，這些工藝強調(diào)清潔性。近年來其應(yīng)用范圍擴大，因為它能夠輕松、干凈地排出質(zhì)譜儀和電子顯微鏡等分析儀的氣
產(chǎn)品介紹
EBARA在干式真空泵方面的優(yōu)勢
節(jié)能且緊湊的設(shè)計。令人安心的全球支持和豐富的產(chǎn)品線
Ebara干式真空泵以節(jié)能和小巧著稱，廣泛應(yīng)用于多個領(lǐng)域。獨特優(yōu)化的轉(zhuǎn)子設(shè)計提升了壓縮效率，實現(xiàn)了低功耗。由于其緊湊輕便的設(shè)計，能夠在有限空間內(nèi)安裝，且易于搬運。我們已在全球出貨超過20萬臺*，活躍于多個領(lǐng)域，主要集中在半導(dǎo)體行業(yè)，對性能和可靠性的要求非常嚴格。
此外，我們在全球擁有50多個維修點，提供可靠的全球支持。您可以選擇我們豐富產(chǎn)品線中最合適的車型，從行業(yè)最高標準的緊湊輕量車型，到氫氣排氣車型，以及兼容產(chǎn)生反應(yīng)性副產(chǎn)品的高負載兼容車型。
特色與優(yōu)勢
該干式真空泵適用于中等工藝，配備Ebara獨特的節(jié)能技術(shù)，采用優(yōu)化自動化工廠制造的模塊設(shè)計，實現(xiàn)進一步的小型化和節(jié)能。
憑借廣泛的溫度控制能力，它擴展了適用的工藝。同一模型可以涵蓋多個過程;因此，備用機器庫存可以優(yōu)化，維護和培訓可以減少，流程未來也能靈活擴展。此外，通過對每個工藝進行溫控，工藝電阻也得以提升，并通過延長零件更換周期來降低TCoO。
適用的應(yīng)用包括各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延等。
日本EBARA/荏原低功耗的風冷干式真空泵
日本EBARA/荏原低功耗的風冷干式真空泵
EV-SA型號
干式真空泵，排氣速度可達5000升/米。緊湊型，風冷型號。
低功耗
緊湊輕便
風冷式
低噪聲
無油
無論頻率如何（50/60 Hz）泵送性能相同
可獲得CE認證/半級S2/NRTL認證
特色與優(yōu)勢
EV-SA型號是一系列風冷干式真空泵，設(shè)計緊湊，無需冷卻水。緊湊型設(shè)計提供了更大的安裝自由度，同時可實現(xiàn)高達5000升/分鐘的高速排氣。需要的公用設(shè)施是電源。低功耗和安靜運行。它可以應(yīng)用于各種環(huán)境，如生產(chǎn)工廠，以及測試和研究實驗室。非常適合清潔泵送應(yīng)用，如各種分析儀和電子顯微鏡。
規(guī)格
| 類型 | 單位 | EV-SA20 | EV-SA30 | EV-SA50 | |
| 電源 | 額定電壓：50/60 Hz | 單相200-240伏 三相 200-240伏 | 單相200-240伏 三相 200-240伏 | ||
| 允許的電壓波動 | ±10% | ±10% | |||
| 功率容量 | kVA | 3 | 3 | 3 | |
| 抽水速度 | L/min | 1670 | 3300 | 5000 | |
| 壓力 | 爸 | 3.0/ 5.0* | 2.0/ 3.0* | 0.5/1.0* | |
| 連接 | 入海口 | NW40 | NW40 | NW50 | |
| 出口 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 極限壓力下的近似功率 | 千瓦 | 0.45 | 0.45 | 0.5 | |
| 冷卻系統(tǒng) | 風冷 | 風冷 | 風冷 | ||
| 重量 | KG | 65 | 90 | 150 | |
*氣體壓載：開啟
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