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宮崎科技（廈門）有限公司
中級(jí)會(huì)員·2年
CRYO-U4H日本愛(ài)發(fā)科/ULVAC低溫干式真空泵
| 參考價(jià): | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- CRYO-U4H 產(chǎn)品型號(hào)
- ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：17更新時(shí)間：2026-06-13 17:39:54
馮女士
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品類型 | 無(wú)油泵 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
低溫干式真空泵CRYO-U4H是日本愛(ài)發(fā)科（ULVAC）旗下標(biāo)準(zhǔn)型 8 英寸低溫泵，采用兩級(jí) GM 制冷機(jī)，用于獲得超高真空（UHV），廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、光學(xué)、科研等領(lǐng)域
典型應(yīng)用
半導(dǎo)體 / 電子束設(shè)備、真空鍍膜、表面分析儀器、核聚變裝置、太空模擬艙等
產(chǎn)品介紹
日本愛(ài)發(fā)科/ULVAC低溫干式真空泵CRYO-U4H
真空泵是一種從密封空間中排出氣體的機(jī)器，使壓力狀態(tài)（真空）低于大氣壓。真空泵有多種類型，取決于其排氣機(jī)制和速度，需根據(jù)其用途和應(yīng)用
選擇合適的。1×10-2 Pa到1×10-6 Pa的范圍稱為高真空;1×10-7 Pa到1×10-9 Pa稱為超高真空;低于1×10-10 Pa稱為超高真空。
干式真空泵是一種不使用油或液體密封的非接觸式真空泵。它們實(shí)現(xiàn)了清潔的真空，沒(méi)有回流或水和油的擴(kuò)散。此外，無(wú)需定期維護(hù)，如補(bǔ)充水或更換水或油，操作非常簡(jiǎn)便。它是
半導(dǎo)體制造工藝和FPD/LED/太陽(yáng)能電池制造過(guò)程中的泵，這些工藝強(qiáng)調(diào)清潔性。近年來(lái)其應(yīng)用范圍擴(kuò)大，因?yàn)樗軌蜉p松、干凈地排出質(zhì)譜儀和電子顯微鏡等分析儀的氣體。此外，由于真空清潔且維護(hù)方便，它們也被應(yīng)用于真空干燥工藝和薄膜沉積工藝等多種應(yīng)用。
日本愛(ài)發(fā)科/ULVAC低溫干式真空泵ULVAC 低溫泵 CRYO?U 系列（你問(wèn)的 CRYO?U8H 屬于這一類）
1. 原理
內(nèi)置兩級(jí) GM 制冷機(jī)：
一級(jí) ≈ 80K：冷卻輻射屏蔽筒、擋板，減少室溫?zé)嶝?fù)荷。
二級(jí) ≈ 10–15K：低溫冷凝板 + 活性炭吸附板，氣體在表面冷凝或吸附，實(shí)現(xiàn)抽氣。
無(wú)油、無(wú)運(yùn)動(dòng)部件，潔凈真空，適合半導(dǎo)體、鍍膜、分析儀器。
日本愛(ài)發(fā)科/ULVAC低溫干式真空泵
低溫泵是一種低壓真空泵，設(shè)計(jì)用于實(shí)現(xiàn)從高真空到超高真空的各種條件。該泵在內(nèi)部安裝的超低溫區(qū)冷凝并吸附氣體，高效捕獲氣體。低溫泵最大的特點(diǎn)是能夠提供無(wú)油污染的清潔真空。
此外，盡管采用吸附方法，低溫泵以其排氣速度遠(yuǎn)高于其他真空泵而聞名。因此，低溫泵被廣泛應(yīng)用于需要清潔高效真空環(huán)境的各類行業(yè)和研究領(lǐng)域。
在考慮引入冷凍泵時(shí)，其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力具有顯著優(yōu)勢(shì)。
日本愛(ài)發(fā)科/ULVAC低溫干式真空泵
Albuck Cryo 已被廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、太陽(yáng)能、核聚變、航天開(kāi)發(fā)等領(lǐng)域，積累了的業(yè)績(jī)。
日本愛(ài)發(fā)科/ULVAC低溫干式真空泵
特色
輕便、緊湊且大量運(yùn)輸，是標(biāo)準(zhǔn)的低溫泵。
適合實(shí)驗(yàn)設(shè)備和小型生產(chǎn)設(shè)備。
支持多重操作（最多3臺(tái)）。
超高真空（10-8Pa或更小）是可能的。
核心特點(diǎn)
輕量緊湊：標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型，出貨量大，適配實(shí)驗(yàn)與小型生產(chǎn)設(shè)備
超高真空：極限壓力可達(dá) 10?? Pa（10?? Torr），可實(shí)現(xiàn) 10?? Pa 以下超高真空
大抽速：對(duì)水蒸氣抽速（4000 L/s），適合高水汽環(huán)境
多機(jī)并聯(lián)：最多支持 3 臺(tái)同步運(yùn)行，提升抽氣能力
長(zhǎng)壽命：維護(hù)周期約 16,000 小時(shí)，運(yùn)行穩(wěn)定。
日本愛(ài)發(fā)科/ULVAC低溫干式真空泵CRYO-U4H
工作原理
一級(jí)制冷（80K）：冷卻屏蔽筒與擋板，減少室溫輻射熱。
二級(jí)制冷（10–12K）：冷卻 15K 冷凝板與吸附板，氣體在表面冷凝 / 吸附，實(shí)現(xiàn)抽氣。
外部尺寸（單位：毫米）
日本愛(ài)發(fā)科/ULVAC低溫干式真空泵CRYO-U4H
規(guī)格
| 排氣速度（20°C） | 氮 | L/s | 450 |
| 氫 | 500 | ||
| 氬氣 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 到達(dá)壓力 | 10-7 | ||
| 最大流量 | 氬氣 | Pa?L/s | 1.3×103 |
| 排氣容量 | 氬氣 | Pa·L | 1.0×107 |
| 氫 | 1.5×105 | ||
| 下降冷卻時(shí)間 | 最?。?0/60Hz） | 45/50 | |
| 質(zhì)量 | 公斤 | 14.5 | |
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