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| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
| 序列號 | 137,1703,2088 |
簡便的安裝方式可顯著縮短再生時間。
它有助于排出廢水,從而縮短低溫泵再生過程中的加熱和粗抽時間。
安裝簡單日本ULVAC真空泵冷凍泵RBH-22
安裝簡單日本ULVAC真空泵冷凍泵RBH-22
冷凍泵
型號:RBH-22
簡便的安裝方式可顯著縮短再生時間。
它有助于排出廢水,從而縮短低溫泵再生過程中的加熱和粗抽時間。

一、核心定位與功能
再生專用:僅在冷凍泵再生流程工作,加熱冷阱殼體,快速融化蒸發(fā)凝結的水汽 / 可凝性氣體,che底清除冰堵,大幅提升再生效率。
大尺寸適配:寬幅薄帶結構,適配 U22H 大口徑冷阱,狹窄腔體也可便捷纏繞安裝。
自限溫特性:隨溫度升高電阻增大、電流自動下降,實現(xiàn)自限溫,無需額外溫控器,安全性更高。
寬電壓兼容:AC 200V 單相 50/60Hz(兼容 AC100V),適配quan球廠房電網。
二、關鍵技術規(guī)格
| 參數(shù) | 數(shù)值 |
|---|---|
| 適配冷凍泵 | CRYO?U22H 系列 |
| 外形尺寸 | 302 × 1900 mm |
| zui大電流 | 11.5 A |
| 穩(wěn)態(tài)電流 | 2.0 A |
| 推薦保險絲 | 20 A |
| 電源 | AC 200V 單相 50/60Hz(兼容 AC100V) |
| 安裝方式 | 環(huán)形纏繞冷阱外殼,夾具固定 |
| 溫控方式 | 自限溫(無需外部溫控) |
三、適用場景與工作邏輯
典型行業(yè):半導體xian進制程、大尺寸面板(FPD)、光學鍍膜、太陽能電池、電子顯微鏡、太空環(huán)境模擬艙等超高真空場景。
再生流程:泵飽和→停機隔離→RBH?22 加熱→水汽蒸發(fā)→前級泵粗抽排出→降溫重啟;無加熱器時再生時間可延長數(shù)小時。
四、安裝、維護與選型要點
安裝規(guī)范
必須斷電安裝,帶體與冷阱外殼均勻貼合,嚴禁褶皺 / 局部擠壓。
接線端子密封防潮,避免真空腔外漏電;加熱時嚴禁觸碰,防止燙傷。
維護周期
每 6 個月檢查絕緣電阻、接線緊固性;每年送 ULVAC shou權站檢測。
出現(xiàn)加熱不均、升溫變慢立即更換,避免影響產線稼動率。
選型區(qū)分
RBH?22 對應 U22H 系列;不可與 RBH?22P(U22P)、RBH?20(U20)等混用。
安全防護
必須配置 20A 推薦保險絲;嚴禁無保護長期加熱,防止冷阱變形。







