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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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EBARA 日本荏原 EV-S 系列 多級(jí)羅茨干式真空泵（原裝日本進(jìn)口?輕載節(jié)能款）
一、產(chǎn)品概述
EV-S 為無(wú)油多級(jí)羅茨干式真空泵，荏原主打輕制程、全風(fēng)冷、超低功耗機(jī)型，對(duì)標(biāo)腔體預(yù)抽、Load Lock、PVD / 鍍膜、LED、光伏、實(shí)驗(yàn)室潔凈工況；分標(biāo)準(zhǔn)版、P 氮?dú)獯祾呖?、N 鎳基耐腐款，滿足潔凈→微量腐蝕氣體工況，全系列標(biāo)配風(fēng)冷、無(wú)需冷卻水，50/60Hz 電源抽速恒定不受頻率影響，通過(guò) SEMI-S2、CE、NRTL 半導(dǎo)體安全認(rèn)證。
定位區(qū)分：EV-S = 輕載羅茨（風(fēng)冷省電）；EV-X = 中載螺桿（溫控耐腐）；EV-M = 重載強(qiáng)腐蝕
二、全系列型號(hào) + 核心參數(shù)（主流 5 款）
| 機(jī)型 | 抽速 (L/min/m3/h) | 極限真空 (Pa) | 額定功率 | 進(jìn)氣口徑 | 整機(jī)重量 | 冷卻 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| EV-S20 | 1670/100 | ≤3.0 | 0.45kW | KF40/DN40 | 62kg | 全風(fēng)冷 |
| EV-S30 | 3300/198 | ≤2.0 | 0.45kW | DN40 | 88kg | 全風(fēng)冷 |
| EV-S50 | 5000/300 | ≤0.5 | 0.55kW | DN50 | 142kg | 全風(fēng)冷 |
| EV-S100 | 10000/600 | ≤0.5 | 2.2kW | DN50 | 175kg | 全風(fēng)冷 |
| EV-S200 | 20000/1200 | ≤0.5 | 3.7kW | DN65 | 258kg | 風(fēng)冷 / 可選水冷 |
后綴含義
基礎(chǔ)款（無(wú)后綴）：泵腔鍍 Ni-P 化學(xué)鎳，潔凈無(wú)腐蝕氣體，無(wú)需氮?dú)獯祾?/span>，日常氮?dú)夂牧俊?、運(yùn)行成本低
P 款：內(nèi)置多路 N?氮?dú)夥创到涌?，防止水汽、微量粉塵凝結(jié)，適配輕度腐蝕、含水蒸氣工藝
N 款：轉(zhuǎn)子 / 泵腔鎳基合金基材 + PTFE 特氟龍涂層，P+N 雙配置，弱酸、鹵素微量腐蝕工況專用
三、產(chǎn)品核心優(yōu)勢(shì)
超低能耗（主打賣點(diǎn)）
搭載直流變頻電機(jī)，空載休眠 / 怠速降功率，極限真空工況自動(dòng)降轉(zhuǎn)速，同抽速比傳統(tǒng)干泵省電 30%~45%；潔凈工藝不用持續(xù)通氮?dú)猓蠓档?N?用氣成本。
小型輕量化 + 全風(fēng)冷免水冷
整機(jī)緊湊占地小，全系標(biāo)配內(nèi)置強(qiáng)制風(fēng)冷，不用外接冷卻水、不用配套冷水機(jī)，設(shè)備機(jī)房布線簡(jiǎn)單、基建投入低。
運(yùn)行穩(wěn)定低噪
非接觸羅茨轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，無(wú)磨損、振動(dòng)小，運(yùn)行噪音≤60dB (A)，適合潔凈車間、實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。
智能電控系統(tǒng)
機(jī)身 LCD 可編程控制面板，集成溫度、過(guò)載、進(jìn)氣壓力、振動(dòng)傳感器，故障預(yù)警、運(yùn)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)；標(biāo)配 Modbus-RTU 通訊，可對(duì)接產(chǎn)線 PLC 遠(yuǎn)程聯(lián)控啟停、數(shù)據(jù)采集。
材質(zhì)靈活選配
標(biāo)準(zhǔn)鍍鎳、鎳基合金、特氟龍防腐三層方案，從輕潔凈→微腐蝕全工況覆蓋。
四、結(jié)構(gòu)與原理
泵型：多級(jí)串聯(lián)羅茨轉(zhuǎn)子、無(wú)油干式壓縮，腔體全程無(wú)潤(rùn)滑油，真空無(wú)油污染、潔凈度高；轉(zhuǎn)子間隙精密優(yōu)化，大氣壓直抽高真空，不用前級(jí)泵串聯(lián)。
標(biāo)準(zhǔn)材質(zhì)：轉(zhuǎn)子球墨鑄鐵 + Ni-P 鍍鎳；N 防腐款：鎳基合金 + 內(nèi)腔 PFA/PTFE 涂層，耐 HF、HCl 微量酸性氣體。
五、選配配件
氮?dú)獯祾呖偝桑≒/N 機(jī)型標(biāo)配）、氣鎮(zhèn)閥（提升含水蒸氣工況排水能力）
排氣消音器、粉塵捕集罐、冷凝回收罐
變頻調(diào)速模塊、遠(yuǎn)程控制柜、排氣油霧過(guò)濾器
六、應(yīng)用行業(yè)（選型指引）
1、EV-S20/S30（小抽速）
Load Lock 腔體預(yù)抽、SEM 電鏡、質(zhì)譜儀器、小型 PVD 濺射、實(shí)驗(yàn)室鍍膜、半導(dǎo)體設(shè)備鎖倉(cāng)、鋰電小型封裝脫泡。
2、EV-S50/S100（主力爆款）
LED 芯片制程、光伏小片鍍膜、光學(xué)薄膜蒸鍍、中小型 PVD、液晶面板真空腔體、晶圓傳送腔預(yù)抽。
3、EV-S200（大抽速）
量產(chǎn)線集中預(yù)抽系統(tǒng)、中大腔體鍍膜、光伏整線真空、中小型 CVD 潔凈制程。
?選型區(qū)分：潔凈無(wú)水汽→基礎(chǔ)款；含水汽微量粉塵→P 款；含弱酸 / 鹵素氣體→N 款
七、 采購(gòu)渠道
玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 原裝現(xiàn)貨供應(yīng)
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