中村:Tanaka田中科學(xué)在線超微量露點(diǎn)水分儀
日本田中科學(xué)(BallWave)中端在線超微量露點(diǎn) / 水分儀,主打ppb 級高精度、1 秒極速響應(yīng)、石英球 SAW 傳感器,適配半導(dǎo)體、鋰電、高純氣體行業(yè)。
中村:Tanaka田中科學(xué)在線超微量露點(diǎn)水分儀
日本田中科學(xué)(BallWave)中端在線超微量露點(diǎn) / 水分儀,主打ppb 級高精度、1 秒極速響應(yīng)、石英球 SAW 傳感器,適配半導(dǎo)體、鋰電、高純氣體行業(yè)。
中村:Tanaka田中科學(xué)在線超微量露點(diǎn)水分儀
一、核心性能特點(diǎn)
超高靈敏度,超痕量檢測
露點(diǎn)測量范圍 ?90℃~?20℃(0.1 ppmv~數(shù)千 ppmv),可精準(zhǔn)測十億分之一 ppb 級氣體微量水分,滿足高純氣體、電子特氣嚴(yán)苛管控。
1 秒極速響應(yīng),實(shí)時(shí)監(jiān)控
水分波動1 秒內(nèi)出結(jié)果,無滯后,適合產(chǎn)線實(shí)時(shí)閉環(huán)控制,快速捕捉泄漏、水分突升異常。
球型 SAW 石英傳感器,耐用抗腐
采用 3.3mm 直徑壓電水晶球 SAW 傳感器,耐腐蝕、抗污染、壽命長,不易被酸性 / 腐蝕性氣體損壞,維護(hù)成本低。
無需背景氣體校準(zhǔn)
可兼容空氣、N?、O?、Ar、He、H?、CO?、CH?等 13 種常用工業(yè)氣體,氣體組分波動時(shí)不用重新標(biāo)定,直接使用。
二、結(jié)構(gòu)與使用優(yōu)勢
傳感器 / 主機(jī)可分離式設(shè)計(jì)
探頭小巧,可就近安裝在管路、潔凈室、設(shè)備腔體;主機(jī)遠(yuǎn)離測點(diǎn),布局靈活,適配狹小空間。
在線連續(xù)監(jiān)測,穩(wěn)定性強(qiáng)
專為 24 小時(shí)連續(xù)在線運(yùn)行設(shè)計(jì),漂移小、長期穩(wěn)定性好,適合鋰電、半導(dǎo)體、光伏工藝氣體管控。
支持設(shè)備集成
可定制為嵌入式機(jī)型,對接自動化產(chǎn)線、PLC 系統(tǒng),用于純化器、晶圓制程、電池注氣系統(tǒng)內(nèi)置監(jiān)測。
操作簡潔,數(shù)據(jù)可追溯
支持多單位顯示(露點(diǎn)℃、ppmv、ppb),具備數(shù)據(jù)存儲、報(bào)警、通訊輸出,方便品質(zhì)管控與記錄。
三、典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體高純氣體、電子特氣水分監(jiān)控
鋰電池 / 二次電池制造環(huán)境、保護(hù)氣微量水分檢測
工業(yè)氣體、天然氣、特種氣體出廠質(zhì)檢
真空系統(tǒng)、純化設(shè)備、干燥設(shè)備在線監(jiān)測