東京精密非接觸表面粗糙度測量機Opt-scope

東京精密非接觸表面粗糙度測量機Opt-scope

Opt-scope是東京精密推出的新一代非接觸式表面粗糙度測量設(shè)備，依托品牌在精密光學(xué)與表面測量領(lǐng)域的技術(shù)積累，解決了傳統(tǒng)接觸式測量易劃傷軟質(zhì)工件、無法測量微小復(fù)雜結(jié)構(gòu)的痛點，實現(xiàn)了無損傷、高效率的表面質(zhì)量檢測，廣泛應(yīng)用于精密光學(xué)、半導(dǎo)體、醫(yī)療器械、消費電子、新材料研發(fā)等領(lǐng)域，是非接觸表面測量領(lǐng)域的產(chǎn)品。

Opt-scope的核心優(yōu)勢在于非接觸測量的高精度與適應(yīng)性，設(shè)備采用共焦色差光學(xué)傳感技術(shù)，相比傳統(tǒng)激光測量聚焦精度更高，垂直方向分辨率可達0.5nm，可精準捕捉納米級的表面微小起伏，粗糙度測量范圍覆蓋0.001μm到100μm，既可以滿足超光滑光學(xué)鏡片、半導(dǎo)體晶圓的低粗糙度檢測，也能適配多孔材料、精細結(jié)構(gòu)的表面分析。測量過程無接觸，不會對被測工件表面造成劃傷、形變，適配軟質(zhì)材料、超薄工件、光學(xué)鍍膜等對接觸壓力敏感的工件檢測，*傳統(tǒng)接觸式測量的應(yīng)用空白。

在檢測效率與適配性層面，Opt-scope支持大面積快速掃描，搭配高精度電動移動平臺，X/Y軸測量行程可覆蓋200mm×200mm，可一次性完成大尺寸工件全域表面粗糙度檢測，也可針對指定區(qū)域部高精度掃描，掃描速度相比傳統(tǒng)非接觸測量提升2倍以上，適配批量生產(chǎn)的快速抽檢需求。設(shè)備支持任意位置單點測量、區(qū)域面掃描、線輪廓掃描等多種測量模式，可生成三維表面形貌圖與二維粗糙度分布曲線，不僅能輸出常規(guī)粗糙度參數(shù)，還能分析表面紋理方向、孔隙率、顆粒尺寸等更多表面特征，為研發(fā)分析提供更全面的數(shù)據(jù)支撐。

操作體驗上，Opt-scope搭載東京精密可視化光學(xué)測量軟件，操作界面直觀，支持一鍵對焦、一鍵測量，自動生成包含三維形貌圖、參數(shù)報告的標準化檢測報告，不需要專業(yè)計量知識即可快速上手，新人經(jīng)過簡單培訓(xùn)就能獨立操作。設(shè)備支持CAD數(shù)據(jù)導(dǎo)入，可比對設(shè)計形貌與實際加工的偏差，適配精密加工的質(zhì)量把控需求；對安裝環(huán)境要求低，常規(guī)計量室即可部署，不需要特殊光學(xué)暗房，使用門檻低。

作為東京精密非接觸表面測量的核心產(chǎn)品，Opt-scope延續(xù)了品牌一貫的精密穩(wěn)定品質(zhì)，兼顧高精度、無損傷與高效率，為軟質(zhì)工件、精密結(jié)構(gòu)、超光滑表面的檢測提供了完整解決方案，幫助半導(dǎo)體、光學(xué)、新材料等領(lǐng)域提升表面質(zhì)量檢測能力，推動精密加工行業(yè)的技術(shù)發(fā)展。