美國 entegris 在線 PTFE 氣體過濾器   MAX-1000

這些在線氣體過濾器采用 由 PFA 結(jié)構(gòu)和 316L 不銹鋼外殼支撐的 PTFE 膜， 在超純氣體應(yīng)用中提供 卓的越的顆粒過濾。

1.過濾面積大，過濾效率提高 3 倍，壓降低，流量大

2.與當前過濾器相同的長度尺寸允許輕松實施，而無需更改氣體面板或輸送系統(tǒng)的設(shè)計。

3.過濾器使用壽命延長，比上一代長 3 倍

Wafergard® MAX-1000 在線 PTFE 氣體過濾器應(yīng)用

1.SiCl 4、GeCL 4和 POCl 3的過濾

2.石英玻璃應(yīng)用

3.光纖應(yīng)用

美國 entegris 在線 PTFE 氣體過濾器   MAX-1000

這些在線氣體過濾器采用 由 PFA 結(jié)構(gòu)和 316L 不銹鋼外殼支撐的 PTFE 膜， 在超純氣體應(yīng)用中提供 卓的越的顆粒過濾。

1.過濾面積大，過濾效率提高 3 倍，壓降低，流量大

2.與當前過濾器相同的長度尺寸允許輕松實施，而無需更改氣體面板或輸送系統(tǒng)的設(shè)計。

3.過濾器使用壽命延長，比上一代長 3 倍

Wafergard® MAX-1000 在線 PTFE 氣體過濾器應(yīng)用

1.SiCl 4、GeCL 4和 POCl 3的過濾

2.石英玻璃應(yīng)用

3.光纖應(yīng)用