半導(dǎo)體專用溫控單元Chiller是集成電路制造中重要的關(guān)鍵設(shè)備，它通過對循環(huán)液的溫度、流量和壓力進(jìn)行高精密控制，實現(xiàn)半導(dǎo)體工藝制程的控溫需求。

      半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備（Chiller）在制程中主要對反應(yīng)腔進(jìn)行溫度控制，工作原理為利用制冷循環(huán)和工藝?yán)鋮s水的熱交換原理對半導(dǎo)體工藝設(shè)備使用的循環(huán)液的溫度、流量和壓力進(jìn)行高精密控制。在半導(dǎo)體工藝制程中，半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備主要應(yīng)用于刻蝕制程。

      半導(dǎo)體專用溫控單元Chiller在半導(dǎo)體制造全流程中發(fā)揮著關(guān)鍵作用，其應(yīng)用場景廣泛：

      1.晶圓制造：在晶圓制造過程中，需要對制造環(huán)境進(jìn)行準(zhǔn)確的溫度控制，以確保制造出的芯片質(zhì)量穩(wěn)定。Chiller能夠提供穩(wěn)定的低溫或恒溫環(huán)境，滿足晶圓制造的高精度要求。例如，在光刻工藝中，Chiller通過循環(huán)冷卻液維持光源溫度穩(wěn)定，確保波長和強度恒定；對投影物鏡進(jìn)行精確冷卻，將形變量控制在0.1nm以內(nèi)，降低像差。

      2.芯片封裝測試：在芯片封裝和測試階段，同樣需要準(zhǔn)確的溫度控制。Chiller能夠模擬各種工作條件下的溫度環(huán)境，幫助測試人員驗證芯片的性能和可靠性。例如，在刻蝕工藝中，Chiller負(fù)責(zé)冷卻反應(yīng)腔和射頻電源等關(guān)鍵部件，確?？涛g工藝的穩(wěn)定性和一致性。

      3.電子元器件測試：在電子元器件的可靠性測試和性能驗證中，常常需要在惡劣溫度條件下進(jìn)行測試，以評估元器件的性能和壽命。Chiller能夠提供從低溫到高溫的廣泛溫度范圍，滿足這些測試的需求。

      4.實驗室研究：在材料科學(xué)領(lǐng)域，研究人員常常需要研究材料在不同溫度下的物理和化學(xué)性質(zhì)。Chiller能夠提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境，支持這些研究工作的進(jìn)行。在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，一些實驗和測試也需要在特定的溫度條件下進(jìn)行，Chiller能夠準(zhǔn)確控制溫度，為生物醫(yī)學(xué)研究提供必要的實驗條件。

      5.工業(yè)生產(chǎn)：在精密加工領(lǐng)域，如精密機械、光學(xué)元件等產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，需要對加工環(huán)境進(jìn)行嚴(yán)格的溫度控制。Chiller能夠提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境，確保加工精度和產(chǎn)品質(zhì)量。在某些工業(yè)生產(chǎn)過程中，如熱處理、焊接等，也需要對工件進(jìn)行加熱或冷卻處理，Chiller能夠通過其加熱和制冷功能，滿足這些工藝對溫度控制的需求。

      中冷低溫生產(chǎn)研發(fā)的SEMI Chiller溫控器主要用于半導(dǎo)體（FAB）和FPD顯示制程中工藝設(shè)備的溫度精準(zhǔn)控制，如刻蝕/薄膜/勻膠/顯影等工藝設(shè)備的控溫（例如LAM, AMAT, TEL, NAURA，Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等）。

      SEMI Chiller溫控器主要由液泵、換熱器、儲液罐、制冷壓縮機及控制系統(tǒng)組成的工藝過程中的溫控設(shè)備。

      SEMI Chiller溫控器的特點：

先進(jìn)的控制技術(shù)，模糊控制，前饋控制，確保設(shè)備有較高的溫控精度和良好的溫度跟隨性

先進(jìn)的節(jié)能技術(shù)，Hot-Gas，變頻技術(shù)等大幅降低了設(shè)備能耗

先進(jìn)的密封和檢漏技術(shù)，極大的減少了循環(huán)液的泄露和揮發(fā)情況

超低溫制冷技術(shù)，單/多級復(fù)疊技術(shù)，多層復(fù)合保溫技術(shù)

支持用戶多通道/多類型定制需求