l 測量范圍: X軸:25.0mm Z軸:800µm, 80µm, 8µm (用備選探針可達2,400µm) l 檢出器分辨率:0.01um(800um范圍) 0.001(80um范圍) 0.0001um(8um范圍) l 測力: 0.75mN 或 4mN l 測針針尖: 金剛石, 90° / 5μmR l 導頭曲率半徑: 40mm l 導頭壓力: 小于 400mN l 適用標準:JIS'82 / JIS'94 / JIS'01 / ISO'97 / ANSI / VDA l 分析圖表: 支撐曲線 / 振幅分布曲線 l 濾波類型: 高斯 , 2CR75 , PC75 l 截止波長: 0.08 , 0.25 , 0.8 , 2.5mm l 取樣長度: 0.08 , 0.25 , 0.8 , 2.5 ,8.0 ,25.0mm l Digimatic 輸出, 打印機輸出, RS-232C I/F, 腳踏開關 I/F l 數(shù)據(jù)存儲: 記憶卡(可選12AAL069) l 控制器尺寸: 275 x 198 x 109mm l 驅動部尺寸: 128 x 35.8 x 46.6mm l 重量: 大約 0.5kg (控制器+ 驅動部+ 標準檢測器) |