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深圳市秋山貿(mào)易有限公司
主營產(chǎn)品： 抹茶生產(chǎn)線,粉碎研磨珠,口紅硬度計(jì) |
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TANAKA TORR?LAR 高純度氣體微壓調(diào)節(jié)器介紹
2026-5-29 閱讀(52)
產(chǎn)品詳細(xì)參數(shù)
| 參數(shù)項(xiàng)目 | 規(guī)格數(shù)值 |
|---|---|
| 品牌 | 日酸 TANAKA（Nissan Tanaka） |
| 型號 | TORR?LAR（TORR?L 系列） |
| 類型 | 高純度氣體微壓壓力調(diào)節(jié)器 |
| 入口最高壓力 | 1.5MPa |
| 出口最高壓力 | 0.06MPa |
| 最大流量 | 40L/min（N?，P1=0.1MPa/P2=0.06MPa） |
| 使用溫度 | -5～+40℃ |
| 接氣部材質(zhì) | 本體 / 隔膜：SUS316L |
| 表面粗糙度 | 可選電解研磨 Ra≤0.25μm |
| 外部泄漏 | ≤1.3×10?? Pa·m3/s |
| 出入口口徑 | 3/8" |
| 重量 | 約 5.2kg |
| 生產(chǎn)環(huán)境 | 0.3μm Class1000 潔凈室組裝 |
| 出廠檢測 | 全數(shù)氦檢漏 + 性能全檢 |
| 適用氣體 | 高純氮、氬、氦、氫、氧等潔凈工藝氣體 |
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體 / 電子：晶圓制程、外延、擴(kuò)散、CVD 高純工藝氣穩(wěn)壓
分析實(shí)驗(yàn)室：GC、LC?MS、光譜儀、載氣 / 燃燒氣精密調(diào)壓
光伏 / 顯示：FPD、LED、太陽能電池制程氣路控制
特種氣體：高純惰性氣體、可燃 / 氧化性氣體安全調(diào)壓
科研裝置：量子、納米、薄膜、真空系統(tǒng)氣路穩(wěn)壓
生物醫(yī)藥：無菌氣、霧化氣、反應(yīng)氣高精度壓力控制
產(chǎn)品詳細(xì)內(nèi)容
日酸 TANAKA TORR?LAR 壓力調(diào)節(jié)器是日本日酸針對超高純度氣體與微壓精密控制開發(fā)的調(diào)壓設(shè)備，作為半導(dǎo)體級氣路的經(jīng)典機(jī)型，以超高潔凈度、超高穩(wěn)定性、超低泄漏率成為制造與科研領(lǐng)域的產(chǎn)品。設(shè)備全程在 0.3μm Class1000 潔凈室內(nèi)組裝，出廠前通過氦檢漏測試，從源頭杜絕污染與泄漏風(fēng)險(xiǎn)，滿足半導(dǎo)體、電子、新材料等行業(yè)對氣路潔凈度的嚴(yán)苛要求。
該調(diào)節(jié)器采用全 SUS316L 接氣結(jié)構(gòu)，隔膜與閥體均為高耐腐蝕不銹鋼，可長期穩(wěn)定輸送高純惰性氣體、氫氣、氧氣等工藝氣體，無析出、無污染、無金屬污染。支持電解研磨表面處理，表面粗糙度 Ra≤0.25μm，大幅降低氣體滯留與雜質(zhì)吸附，特別適合對純度與潔凈度敏感的先進(jìn)制程。入口最高承壓 1.5MPa，出口精準(zhǔn)穩(wěn)定至 0.06MPa 微壓區(qū)間，流量可達(dá) 40L/min，兼顧高精度與穩(wěn)定流量需求。
日酸 TANAKA TORR?LAR 壓力調(diào)節(jié)器專為二次側(cè)微壓精密控制設(shè)計(jì)，調(diào)節(jié)平穩(wěn)、無脈動(dòng)、無沖擊，可有效保護(hù)后端精密儀器與制程設(shè)備，避免壓力波動(dòng)導(dǎo)致的工藝異常與測試誤差。外部泄漏率≤1.3×10?? Pa?m3/s，達(dá)到半導(dǎo)體設(shè)備嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)，確保氣路長期安全運(yùn)行。設(shè)備結(jié)構(gòu)堅(jiān)固耐用，維護(hù)簡單，使用壽命長，可大幅降低氣路系統(tǒng)運(yùn)維成本與更換頻率。
