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深圳市秋山貿易有限公司
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日本TOKYO KEISO CLFC300 一體式超聲波流量控制器 簡介
2026-5-20 閱讀(114)
核心優(yōu)勢
一體化集成設計，安裝便捷省空間：將超聲波流量檢測器、控制閥、演算控制電路集成于一體，無需額外管路與配件，大幅簡化安裝流程，適配設備內嵌與狹小空間布局。
高速響應閉環(huán)控制，流量穩(wěn)定精準：搭載高性能 DSP 信號處理芯片，階躍響應時間≤1.5 秒，可快速跟蹤并穩(wěn)定至設定流量，±0.2% FS 的高精度，滿足半導體制程的嚴苛控制要求。
強抗氣泡設計，復雜流體適配廣：優(yōu)化的超聲波時差法算法，顯著提升抗氣泡干擾能力，純水、化學品、CMP 漿料等流體均可穩(wěn)定測量，降低斷流、誤判風險。
輕量化機身，耐用免維護：相比上代產品體積縮小 20%、重量減輕 35%，便于搬運與安裝；夾管閥采用耐腐耐磨材質，長期使用無泄漏風險，維護成本低。
多信號輸出，數據可追溯：支持脈沖、報警、4-20mA 電流輸出，可選 RS485 通信接口，可與上位機聯(lián)動，實現(xiàn)流量數據實時監(jiān)控與記錄，滿足工業(yè)質控溯源需求。
關鍵參數
品牌：TOKYO KEISO（東京計裝，日本）
型號：CLFC300-T11-201-D1-NHO
測量原理：超聲波時差法
流量范圍：200–2000mL/min（藥液 / 純水）
測量精度：±0.2%FS
重復性：±0.1%FS
響應時間：≤1.5 秒
流體溫度：10–50℃
工作壓力：≤0.4MPa
供電方式：DC24V±10%
接觸液材質：PFA/PTFE
連接方式：φ1/4" 標準接口
典型應用場景
半導體制造：CMP 設備漿料定量供給、超純水流量控制、蝕刻 / 清洗藥液精準配比。
精密化工：實驗室微量藥液定量輸送、高純度試劑閉環(huán)流量控制。
電子 / 光伏行業(yè)：晶圓制程藥液恒流控制、超薄材料制備流體輸送。
醫(yī)療 / 生物領域：高純緩沖液、試劑精準分配，滿足無菌無交叉污染要求。
