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近年來，美辛輝的產(chǎn)品已經(jīng)能夠為各個領域的客戶做出貢獻。有液晶，有機EL，電池相關，半導體和空間業(yè)務等各種應用。真空技術仍然是一個可以廣泛使用的領域。我們期待您繼續(xù)惠顧我們的產(chǎn)品。此外，牢記創(chuàng)始人平澤美奈子的公司座右銘，“讓我們保持交貨日期并擴大信任”，我們將繼續(xù)以可靠的技術和開發(fā)能力為客戶提供各種各樣的產(chǎn)品。
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氦檢設備MIYUKI 電動數(shù)字定點真空蝶閥產(chǎn)品參數(shù)
| 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
氦檢設備MIYUKI 電動數(shù)字定點真空蝶閥詳細信息
一、產(chǎn)品概述
BAZ 系列是美幸輝主打數(shù)字檔位定點開度控制的伺服型真空蝶閥，需搭配原廠MS-PC 定點控制器成套使用，支持 00~99 檔精準開度設定，專門用于真空腔體階梯破真空、微量進氣、精密穩(wěn)壓、流量分段調(diào)節(jié)，憑借低發(fā)塵、超低泄漏、斷電保位特性，廣泛應用于高真空潔凈工藝場景。
特點
01. 具有優(yōu)異排氣特性的門閥。
兼容02.80A~150A的直徑。
03. 帶有絕對傳感器的起源記憶。
04. 安裝姿勢向所有方向自由。
05. 開合時以超低噪聲運行。
06. 得益于不銹鋼磨料，低氣體排放。
氦檢設備MIYUKI 電動數(shù)字定點真空蝶閥 BAZ-J80
氦檢設備MIYUKI 電動數(shù)字定點真空蝶閥 BAZ-J80
規(guī)格
口徑80A ~ 150A
工作壓力范圍105 Pa ~ 10-6 Pa
泄漏量：
內(nèi)部密封（閥門）1X10-10 Pa·M3/s 下文
外部
密封（軸）泄漏量1X10-10 Pa·M3/s 下文
氣體接觸材料SUS304
閥門密封氟橡膠O型圈
軸密封氟橡膠O型圈
耐熱溫度主單元溫度：150°C
馬達：40°C
停電時閥門的工作保持當前位置
二、核心技術參數(shù)
1. 真空密封性能
工作壓力范圍：常壓（10?Pa）~ 1×10??Pa（中高真空）
閥體內(nèi)部泄漏：≤1×10?? Pa?m3/s
閥桿軸封外泄漏：≤1×10?1? Pa?m3/s，滿足高真空檢漏要求
2. 材質(zhì)與耐溫
過流部件：閥體、蝶板 SUS304 不銹鋼
密封件：FKM 氟橡膠 O 型圈（可選全氟醚 FFKM）
使用溫度：閥體最高 150℃；伺服電機工作溫度≤40℃
適用介質(zhì)：氮氣、氬氣、干燥工藝惰性氣體
3. 驅動核心優(yōu)勢
伺服電機直驅無間隙結構，無齒輪背隙、無金屬滑動摩擦，潔凈低發(fā)塵、運行*，適配無塵車間
內(nèi)置絕對式原點記憶傳感器，斷電重啟無需回零校準，閥位重復精度極-高
電磁斷電抱閘設計：突發(fā)停電自動鎖死當前閥門開度，防止腔體泄壓、工藝報廢
支持手動應急閥位調(diào)節(jié)，設備檢修安全可靠
三、MS-PC 定點控制器（標配）
控制方式
本地面板控制：二位撥碼設定 00（全關）~99（全開）檔位，按鍵執(zhí)行閥位定位，自帶閥位狀態(tài)指示燈
PLC 遠程自動化控制：8 位二進制編碼遠程下發(fā)開度指令 + 無源觸點開關信號，可接入上位機批量工藝聯(lián)動控制
控制特點
開度調(diào)節(jié)線性穩(wěn)定，微小節(jié)流狀態(tài)下腔體壓力無波動漂移
支持階梯式緩慢進氣，避免薄膜濺射、光學鍍膜時材料氧化產(chǎn)生針孔缺陷
五、典型應用領域
半導體：PVD/CVD、離子注入、刻蝕設備工藝穩(wěn)壓、分段進氣
光學 / 裝飾真空鍍膜：磁控濺射、電子束蒸鍍階梯破真空控制
科研實驗室：表面分析儀器（XPS/AES）、氦檢設備、真空熱處理爐
新能源：鋰電池真空注液、真空釬焊、光伏鍍膜設備管路流量調(diào)節(jié)
六、同系列產(chǎn)品區(qū)分
BAZ 系列（數(shù)字定點）：00-99 檔位定點控制，搭配 MS-PC，適合分段工藝、固定開度工況
BAR 系列（模擬無級）：0-10V 連續(xù)線性調(diào)節(jié)，搭配 MS-VP，適合閉環(huán)動態(tài)精密穩(wěn)壓場景
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內(nèi)容聲明：
您訪問的氦檢設備MIYUKI 電動數(shù)字定點真空蝶閥產(chǎn)品信息，由北崎國際貿(mào)易（北京）有限公司自行發(fā)布提供，產(chǎn)品價格為面議，如您想了解更多關于氦檢設備MIYUKI 電動數(shù)字定點真空蝶閥型號、參數(shù)、用途等信息，歡迎咨詢。
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