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特色

01. 全閉合和電導調節(jié)可由單單元完成。

02. 可以從差壓狀態(tài)（真空到大氣壓）下打開。

03. 采用直接電機驅動機構和高精度齒輪頭，確保了極-佳的位置精度。

04. 控制方法允許多種操作模式，如調節(jié)開口和速度。

05. 適合高流量排氣且高度耐用。

06. 角度顯示指示器允許您從外部檢查閥體的位置。
顯示行業(yè)日本美幸輝 MIYUKI 電動真空蝶閥 BJ4-J65
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MIYUKI 美幸輝 BJ4 系列伺服電動真空蝶閥

BJ4 是伺服高精度無級調節(jié)真空蝶閥，適配常壓～10??Pa 高真空、大流量排氣 / 進氣精密控壓，區(qū)別于 BAZ 數字檔位、BAR 模擬調壓，主打全程連續(xù)開度閉環(huán)控制、壓差下可靠啟閉、量產自動化真空產線。

一、半導體 / 微電子（核心主力應用行業(yè)）

細分設備場景

PVD/CVD/ALD 鍍膜設備：工藝腔進氣、氬氣 / 氮氣分壓精準調節(jié)，穩(wěn)定鍍膜速率與膜層均勻度

晶圓刻蝕、離子注入設備：真空腔分壓控制、緩慢破真空，防止晶圓氧化、顆粒污染

半導體封裝、等離子清洗機：腔體梯度泄壓、抽氣流量閉環(huán)穩(wěn)壓

真空氦檢系統(tǒng)：檢漏腔進氣微調，精準控制檢漏壓差，提升檢測精度

適配優(yōu)勢

SUS304 鏡面低放氣、超低泄漏≤1×10?? Pa?m3/s，無塵室裝配，伺服重復定位精度高，可在真空 - 常壓壓差狀態(tài)直接開啟閥門，無需旁路輔助閥。

二、光學 / 真空鍍膜行業(yè)（光學、顯示、光伏）

光學鏡片、鏡頭鍍膜機（手機鏡頭、眼鏡、光學玻璃）：蒸鍍 / 濺射工藝氣體流量連續(xù)調節(jié)，控制折射率、透光率

顯示面板（LCD/OLED）蒸鍍腔體：大面積腔體大流量排氣調壓，縮短工藝循環(huán)節(jié)拍

光伏電池、ITO 導電膜鍍膜設備：工藝真空度閉環(huán)恒定，提升良率

裝飾、工具硬質涂層（DLC、氮化鈦）真空爐：分段進氣穩(wěn)壓，保證涂層附著力

三、鋰電池 / 新能源行業(yè)

電芯真空注液、漿料真空脫泡：緩慢梯度破真空，避免電解液飛濺、氣泡殘留

電池極片真空烘烤、化成腔體：抽氣流量調節(jié)，控溫同時穩(wěn)定腔體真空

固態(tài)電池實驗室真空反應腔體：惰性氣體分壓精密控制，隔絕水汽氧氣

選型亮點

BJ4 伺服無級調節(jié)，替代多組旁路針閥，單閥實現(xiàn)抽氣 / 充氣全程線性控制，簡化自動化管路。

四、科研實驗室真空設備

高校 / 研究所高真空實驗腔體、表面分析設備（XPS、SEM 配套真空系統(tǒng)）

材料燒結、薄膜制備、磁控濺射實驗臺：KF/JIS 法蘭通用，可快速拆裝調試

真空熱壓、氣氛管式爐：惰性保護氣體流量精準調控

真空吸附、低溫真空測試裝置：微小真空度連續(xù)微調

五、熱處理 & 冶金真空爐

真空淬火、回火、釬焊爐：爐體大流量排氣調壓、氣氛進氣分壓控制

金屬粉末冶金真空燒結爐：防止工件氧化，穩(wěn)定爐內真空與保護氣比例

真空滲碳、離子氮化設備：工藝氣體持續(xù)閉環(huán)調節(jié)，保證熱處理一致性

六、航天 / 特種真空模擬領域

空間環(huán)境模擬艙、高低溫真空試驗箱：模擬太空低氣壓環(huán)境，無級調節(jié)腔體真空度

零部件真空老化、真空檢漏、真空疲勞測試設備：長時間穩(wěn)定控壓，耐久性滿足長期試驗

七、醫(yī)藥 & 生物真空設備

原料藥真空干燥、凍干機腔體：溫和梯度泄壓，保護熱敏性藥品不結塊、不失效

無菌真空分裝、生物樣本真空保存腔體：潔凈 SUS304 閥體，無油脂析出污染樣品

八、通用工業(yè)自動化真空配套（輔助場景）

真空吸附、真空搬運產線：負壓流量調節(jié)，控制吸附力大小

真空泵組主排氣調節(jié)閥：穩(wěn)定前級真空、保護分子泵機組

真空注塑、脫泡成型設備：塑膠原料真空除氣泡流量控制

BJ4 系列適配行業(yè)核心共性需求

需要連續(xù)無級開度調節(jié)、真空度閉環(huán)穩(wěn)壓，不能僅簡單通斷（氣動 B/BH 系列僅開關 / 兩段慢開無法滿足）；

腔體存在真空 / 大氣壓壓差，要求閥門可帶壓開啟；

大口徑大流量抽氣 / 進氣、量產設備高頻次啟閉，伺服長壽命穩(wěn)定運行；

高潔凈、低泄漏、低放氣，對顆粒、漏氣量要求嚴苛的精密真空工藝。