01. 雖然氣缸體積緊湊,但打開時推力翻倍(可靠運(yùn)行),且 它在前弦處實(shí)現(xiàn)空氣緩沖(減震效果)。
02. 閥體完-全關(guān)閉時,閥體完-全密封。
03. 安裝姿勢和方向無限制。
04. 平面間比極薄,導(dǎo)電性極-佳。
05. 組裝和檢查在無塵室進(jìn)行。
光伏鍍膜 美幸輝MIYUKI 氣動真空蝶閥 B-J300
光伏鍍膜 美幸輝MIYUKI 氣動真空蝶閥 B-J300
一、產(chǎn)品定位
MIYUKI 美幸輝氣動真空蝶閥(B 系列、BH 系列)為潔凈高真空專用通斷 / 兩段調(diào)節(jié)閥,日企原廠無塵室組裝,低放氣、超低泄漏,適配半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、鋰電脫泡、真空爐等高潔凈真空設(shè)備;僅B、BH 為純氣動款,BAZ/BAR 為電動調(diào)節(jié)型,下文只講氣動型號。
二、型號命名規(guī)則(以 B-J25、BH-N63 舉例)
1. 第--位:驅(qū)動 / 功能系列
B:標(biāo)準(zhǔn)兩位氣動蝶閥 → 僅 0° 全關(guān) / 90° 全開,單純通斷隔離
BH:兩段式雙氣缸氣動蝶閥 → 0° 全關(guān) + 0~45° 慢開 / 慢排 + 90° 全開,單閥實(shí)現(xiàn)快慢充氣 / 泄壓
2. 第二位字母:法蘭標(biāo)準(zhǔn)
J:JIS 日標(biāo)法蘭(25A/50A/80A… 設(shè)備標(biāo)配)
N:KF (NW) 快裝法蘭(實(shí)驗(yàn)室、小型腔體拆裝便捷)
I:ISO-K 真空法蘭(大口徑工業(yè)真空主管)
C:CF 超高真空刀口法蘭(可高溫烘烤、極限高真空)
3. 末尾數(shù)字:公稱通徑(25A~350A)
25=DN25、40=DN40、50=DN50、63=DN63、80、100、160、200、250、300、350A
示例
B-J25:標(biāo)準(zhǔn)兩位氣動、JIS 法蘭、DN25 真空蝶閥
BH-N63:兩段快慢排氣氣動、KF63 快裝、DN63 真空蝶閥
三、通用核心技術(shù)參數(shù)(B/BH 氣動系列統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn))
真空壓力區(qū)間:常壓 10? Pa ~ 高真空 1×10?? Pa
泄漏性能
閥體內(nèi)部泄漏:≤1×10?? Pa?m3/s
閥桿軸封外泄漏:≤1×10?1? Pa?m3/s,滿足氦檢標(biāo)準(zhǔn)
材質(zhì)配置
過流腔體、蝶板:SUS304 不銹鋼,鏡面拋光、低產(chǎn)塵低放氣
標(biāo)準(zhǔn)密封:FKM 氟橡膠 O 型圈;可選 Kalrez 全氟醚(耐腐蝕、耐高溫)
耐溫規(guī)格
閥體烘烤最高:150℃
氣動氣缸環(huán)境溫度:≤40℃
氣動驅(qū)動條件
氣源壓力:0.4~0.6 MPaG,潔凈干燥無油壓縮空氣
氣缸結(jié)構(gòu):齒輪齒條、末端氣墊緩沖,啟閉沖擊小、壽命 100 萬次 +
安裝特性:無流向限制、任意角度垂直 / 水平安裝,閥體超薄大通流導(dǎo)
電氣選配:內(nèi)置微動開關(guān)(NPN/PNP),輸出開 / 關(guān)到位信號接入 PLC
四、兩大氣動系列核心區(qū)別(選型關(guān)鍵)
1. B 系列(標(biāo)準(zhǔn)兩位通斷閥)
動作邏輯:單氣缸,僅 2 個位置:0° 全關(guān) / 90° 全開
適用場景:真空泵隔離閥、真空管路切斷、腔體總通斷、簡單抽氣隔斷
優(yōu)勢:結(jié)構(gòu)簡單、價格更低、響應(yīng)速度快
2. BH 系列(兩段快慢調(diào)節(jié)氣動閥)
動作邏輯:雙段氣缸,三狀態(tài):全關(guān) → 0~45° 慢速開度 → 90° 全開
核心用途:腔體緩慢破真空、分段泄壓,防止膜層起泡、鋰電電解液飛濺
工藝優(yōu)勢:無需額外旁路針閥,單閥完成慢充氣 + 快速抽氣,簡化管路
五、法蘭與口徑覆蓋
法蘭:JIS / KF (NW) / ISO-K / CF 四規(guī)格原廠互換
口徑范圍:25A ~ 350A(BH 最大 350A,B 系列最大 400A)
六、核心產(chǎn)品優(yōu)勢
超高流導(dǎo):同口徑真空閥流阻極低,抽氣 / 充氣流量大,縮短腔體循環(huán)節(jié)拍
超高潔凈等級:無塵室裝配、無油脂污染,適配半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜嚴(yán)苛潔凈要求
氣墊緩沖氣缸:蝶板無劇烈撞擊,降低噪音、延長密封件使用壽命
極低泄漏:雙層閥桿密封,長期維持高真空,穩(wěn)定腔體真空度
集成閥位反饋:出廠可預(yù)裝微動開關(guān),自動化產(chǎn)線聯(lián)鎖控制更便捷
通用性強(qiáng):真空 / 微正壓通用,氮?dú)?、氬氣、干燥工藝氣體均可使用
七、典型應(yīng)用行業(yè)
光學(xué)真空鍍膜、PVD/CVD 半導(dǎo)體設(shè)備
鋰電池真空脫泡、真空注液、電芯烘烤爐
實(shí)驗(yàn)室科研真空腔體、氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)
熱處理真空爐、光伏鍍膜、電子元件封裝設(shè)備
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