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日本EBARA荏原最早創(chuàng)立于1912年，正式成立于1920年，總部位于日本東京，是一家擁有百年歷史的日本企業(yè)。主要產(chǎn)品品種有泵、制冷機(jī)、冷卻塔、風(fēng)機(jī)、渦輪機(jī)、垃圾焚燒設(shè)施、真空泵、CMP設(shè)備、廢棄處理設(shè)備、電鍍?cè)O(shè)備等。
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日本進(jìn)口EBARA荏原 EV-M干式真空泵產(chǎn)品參數(shù)
| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
日本進(jìn)口EBARA荏原 EV-M干式真空泵詳細(xì)信息
日本進(jìn)口EBARA荏原 EV-M干式真空泵
日本進(jìn)口EBARA荏原 EV-M干式真空泵
一、核心型號(hào)與參數(shù)（50Hz）
| 型號(hào) | 抽速 (L/min) | 極限壓力 (Pa) | 進(jìn)氣口 | 排氣口 | 功率 (kW) | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| EV?M20N | 1,800 | 5.0 | NW40 | NW40 | 1.2 | 170 |
| EV?M102N | 10,000 | 0.5 | ISO100 | NW40 | 1.8 | 320 |
| EV?M202N | 20,000 | 0.5 | ISO100 | NW40 | 1.9 | 360 |
| EV?M302N | 30,000 | 0.5 | ISO100 | NW40 | 2.3 | 400 |
| EV?M502N | 50,000 | 0.5 | ISO160 | NW40 | 2.1 | 500 |
| EV?M802N | 80,000 | 0.5 | ISO160 | NW40 | 2.8 | 740 |
二、關(guān)鍵特點(diǎn)
多級(jí)羅茨結(jié)構(gòu)：高抽速、低脈動(dòng)、適合大量副產(chǎn)物 / 腐蝕性氣體。
低能耗：較傳統(tǒng)干式泵省電 30%+；50/60Hz 性能一致。
耐腐蝕：標(biāo)準(zhǔn)防腐材質(zhì)，可選強(qiáng)化防腐，適配刻蝕 / CVD 等嚴(yán)苛工藝。
水冷 + 智能控制：高溫穩(wěn)定運(yùn)行；SEMI?S2/CE/NRTL認(rèn)證。
無(wú)油潔凈：無(wú)油，滿足半導(dǎo)體高潔凈要求。
三、典型應(yīng)用
半導(dǎo)體：CVD、PECVD、ALD、RTP、刻蝕。
光伏 / 液晶：鍍膜、擴(kuò)散、刻蝕等高負(fù)荷工藝。
化工 / 通用真空：腐蝕性氣體、高排氣量場(chǎng)景。
四、電源與冷卻
電源：3 相 200V (50Hz)/200–220V (60Hz)。
冷卻水：3–8 L/min（依型號(hào)）。
氮?dú)獯祾撸?span style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box; font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: 24px; flex: 0 1 auto; flex-direction: row; justify-content: normal; align-items: normal; background-image: none; background-position: 0% 0%; background-size: auto; background-repeat: repeat; background-attachment: scroll; background-origin: padding-box; background-clip: border-box;">15–20 L/min（防粉塵 / 結(jié)垢）。
五、運(yùn)用場(chǎng)景（一句話總結(jié)：高負(fù)載、多副產(chǎn)物、腐蝕性、大抽速工藝**）
1）半導(dǎo)體（*核心）
2）顯示面板（LCD/OLED）
3）光伏（PERC、TOPCon、HJT）
4）化工 / 通用真空
5）科研 / 高能物理
太空模擬艙、加速器、大腔體高真空排氣。
腐蝕性氣體、溶劑蒸氣、大量粉塵 / 聚合物
真空干燥、反應(yīng)釜、蒸餾、冶金熱處理
擴(kuò)散、PECVD、鍍膜、刻蝕 高負(fù)荷產(chǎn)線
硅粉、漿料副產(chǎn)物多，要求耐高溫 + 防結(jié)垢
大型玻璃基板 PECVD、濺射（Sputter）、鍍膜
高粉塵、大排氣量、長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行
CVD / PECVD / LPCVD / HDP?CVD / MOCVD（二氧化硅、氮化硅、金屬有機(jī)副產(chǎn)物多）
ALD、RTP、刻蝕（Etch）（含氟 / 氯腐蝕性氣體、粉塵）
Load Lock / 傳輸腔粗抽（大流量、頻繁啟停）
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