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日本EBARA荏原最早創(chuàng)立于1912年，正式成立于1920年，總部位于日本東京，是一家擁有百年歷史的日本企業(yè)。主要產(chǎn)品品種有泵、制冷機、冷卻塔、風(fēng)機、渦輪機、垃圾焚燒設(shè)施、真空泵、CMP設(shè)備、廢棄處理設(shè)備、電鍍設(shè)備等。
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進(jìn)口EBARA荏原ESA多級羅茨干式真空泵產(chǎn)品參數(shù)
| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
進(jìn)口EBARA荏原ESA多級羅茨干式真空泵詳細(xì)信息
進(jìn)口EBARA荏原ESA多級羅茨干式真空泵
進(jìn)口EBARA荏原ESA多級羅茨干式真空泵
主力型號 + 關(guān)鍵參數(shù)（50 Hz，N?）
? 1）輕氣體型（MO?CVD / 氫氣工藝）
型號 抽速 (L/min) 極限真空 (Pa) 功率 (kW) 重量 (kg) 進(jìn)氣口 ESA15?D 1,400 400 2.9 ～120 NW40 ESA25?D 2,500 5.3 3.0 ～150 NW40 ESA70W?D 7,000 0.6 5.2 ～220 NW50 ESA70WN?D 7,000 0.4 5.2 ～230 NW50
| 型號 | 抽速 (L/min) | 極限真空 (Pa) | 功率 (kW) | 重量 (kg) | 進(jìn)氣口 |
|---|---|---|---|---|---|
| ESA15?D | 1,400 | 400 | 2.9 | ～120 | NW40 |
| ESA25?D | 2,500 | 5.3 | 3.0 | ～150 | NW40 |
| ESA70W?D | 7,000 | 0.6 | 5.2 | ～220 | NW50 |
| ESA70WN?D | 7,000 | 0.4 | 5.2 | ～230 | NW50 |
? 2）大流量型（面板 / 光伏 Load Lock / 大腔）
型號 抽速 (L/min) 極限真空 (Pa) 功率 (kW) 重量 (kg) 進(jìn)氣口 ESA100W 10,000 0.6 7.5 ～300 ISO80 ESA200W 20,000 0.6 15 ～450 ISO100 ESA300W 30,000 0.53 22 ～600 ISO160 ESA500W 50,000 0.6 37 ～900 ISO160 ESA700W 70,000 0.6 55 ～1,300 ISO200
| 型號 | 抽速 (L/min) | 極限真空 (Pa) | 功率 (kW) | 重量 (kg) | 進(jìn)氣口 |
|---|---|---|---|---|---|
| ESA100W | 10,000 | 0.6 | 7.5 | ～300 | ISO80 |
| ESA200W | 20,000 | 0.6 | 15 | ～450 | ISO100 |
| ESA300W | 30,000 | 0.53 | 22 | ～600 | ISO160 |
| ESA500W | 50,000 | 0.6 | 37 | ～900 | ISO160 |
| ESA700W | 70,000 | 0.6 | 55 | ～1,300 | ISO200 |
? 三、核心特點（和 EST / EV?M / 競品差異）
- 氫氣 / 輕氣體效率***專用轉(zhuǎn)子型線，氫氣抽速比普通干泵高 30%+；MO?CVD（GaN/LED）****標(biāo)配
- 大腔體超快粗抽（Load Lock **）高壓縮比 + 大抽速，大氣壓 → 1 Pa 僅需 2～3 分鐘；面板 / 光伏大腔 Load Lock 節(jié)拍提升 40%+
- 潔凈無油 + 耐蝕長壽命真空側(cè)無油；泵腔NiResist 高鎳耐蝕鑄鐵，標(biāo)配N? 吹掃；可處理微量 Cl?、NH?、HF；維護周期 ≥20,000 小時
- 智能變頻 + 超低能耗內(nèi)置智能怠速 / 變頻，負(fù)載低時自動降速；比定頻節(jié)能 30%+；支持遠(yuǎn)程監(jiān)控 / 聯(lián)鎖
- 低噪低振 + 潔凈室友好大型號噪音 **≤65 dB**、振動極低；底座帶減震，直接放潔凈室；SEMI S2 / CE / NRTL 認(rèn)證
- 氫氣 / 輕氣體效率***專用轉(zhuǎn)子型線，氫氣抽速比普通干泵高 30%+；MO?CVD（GaN/LED）****標(biāo)配
- 大腔體超快粗抽（Load Lock **）高壓縮比 + 大抽速，大氣壓 → 1 Pa 僅需 2～3 分鐘；面板 / 光伏大腔 Load Lock 節(jié)拍提升 40%+
- 潔凈無油 + 耐蝕長壽命真空側(cè)無油；泵腔NiResist 高鎳耐蝕鑄鐵，標(biāo)配N? 吹掃；可處理微量 Cl?、NH?、HF；維護周期 ≥20,000 小時
- 智能變頻 + 超低能耗內(nèi)置智能怠速 / 變頻，負(fù)載低時自動降速；比定頻節(jié)能 30%+；支持遠(yuǎn)程監(jiān)控 / 聯(lián)鎖
- 低噪低振 + 潔凈室友好大型號噪音 **≤65 dB**、振動極低；底座帶減震，直接放潔凈室；SEMI S2 / CE / NRTL 認(rèn)證
?? 四、運用場景 + 行業(yè)（*核心）
1）半導(dǎo)體（MO?CVD **主力）
MO?CVD（GaN / LED / 功率半導(dǎo)體）：*市占 70%+，氫氣 + 金屬有機氣體
Load Lock / 傳輸腔（300mm 晶圓線）：快速粗抽 + 維持
LPCVD / PECVD / 刻蝕：前級泵（無粉塵工況）
MOCVD 專用：ESA25?D / ESA70W?D 是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
MO?CVD（GaN / LED / 功率半導(dǎo)體）：*市占 70%+，氫氣 + 金屬有機氣體
Load Lock / 傳輸腔（300mm 晶圓線）：快速粗抽 + 維持
LPCVD / PECVD / 刻蝕：前級泵（無粉塵工況）
MOCVD 專用：ESA25?D / ESA70W?D 是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
2）顯示面板（LCD / OLED / Mini?LED）
大尺寸 Load Lock / 傳輸腔：ESA200W / ESA300W 標(biāo)配
濺射（Sputtering）/ 蒸鍍：前級 + 主抽
真空干燥 / 脫氣：大腔體快速抽真空
大尺寸 Load Lock / 傳輸腔：ESA200W / ESA300W 標(biāo)配
濺射（Sputtering）/ 蒸鍍：前級 + 主抽
真空干燥 / 脫氣：大腔體快速抽真空
3）光伏（硅片 / 電池片 / 組件）
大腔 Load Lock / 擴散爐 / PECVD：ESA100W / ESA200W
硅片真空清洗 / 干燥：大流量、低振動
組件層壓機：真空源 + 快速抽氣
大腔 Load Lock / 擴散爐 / PECVD：ESA100W / ESA200W
硅片真空清洗 / 干燥：大流量、低振動
組件層壓機：真空源 + 快速抽氣
4）化工 / 新能源（氫氣 / 鋰電）
氫氣提純 / 回收：輕氣體專用
鋰電 / 鈉電正極真空干燥：無油、低污染
精細(xì)化工蒸餾 / 脫氣：耐腐蝕、長壽命
氫氣提純 / 回收：輕氣體專用
鋰電 / 鈉電正極真空干燥：無油、低污染
精細(xì)化工蒸餾 / 脫氣：耐腐蝕、長壽命
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