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產(chǎn)品概述

核心功能特點

• 寬量程自動切換

  可自動切換三個測量量程（0.0-200.0μg/L、200-2000μg/L、2.00-20.00mg/L），始終以最佳分辨率進行測量，滿足不同工藝階段的需求。

• 低流量樣品兼容

  支持最小 15ml/min 的樣品流量測量，適配半導體工藝中低流量藥液的監(jiān)測場景。

• 強抗腐蝕能力

  傳感器單元可耐受最高 5000ppm 的 HF 濃度，專為含的濕法工藝設計。

• 簡易校正與維護

  配備電氣零點校正、氣體零點和量程校正功能，操作便捷，降低維護難度。

• 豐富的通訊與輸出接口

  支持 4-20mA 模擬輸出（4 點）、接點輸出（4 點）和 RS-485 通訊，方便數(shù)據(jù)傳輸與設備聯(lián)動，集成到工廠自動化系統(tǒng)中。

型號核心參數(shù)

主要應用場景

• 半導體制造行業(yè)：晶圓廠濕法清洗、蝕刻工藝中，含 HF 溶液或純水中的溶解氧濃度在線監(jiān)測，確保工藝穩(wěn)定性與產(chǎn)品良率。

• 超純水系統(tǒng)：低流量超純水回路中的溶解氧監(jiān)測，滿足半導體級水質要求。