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日本 HORIBA 堀場 光纖式藥液濃度監(jiān)測儀器產(chǎn)品參數(shù)
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本 HORIBA 堀場 光纖式藥液濃度監(jiān)測儀器詳細(xì)信息
日本 HORIBA 堀場 光纖式藥液濃度監(jiān)測儀器 日本 HORIBA 堀場 光纖式藥液濃度監(jiān)測儀器
產(chǎn)品概述
HORIBA CS-630FD 光纖式藥液濃度監(jiān)測儀，是一款針對半導(dǎo)體行業(yè)低濃度藥液管理開發(fā)的專用分析設(shè)備。它采用中紫外波長范圍的吸收分光法和多變量解析技術(shù)，能夠以 ppm 級別實時監(jiān)測低濃度藥液的濃度變化，為功能水（如低濃度 SC-1 溶液）的穩(wěn)定供應(yīng)和工藝優(yōu)化提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。
核心功能特點
低濃度藥液高精度測量
采用中紫外波長范圍，即使在低濃度區(qū)域也能實現(xiàn)高精度測量，可對低濃度 NH?、低濃度 SC-1 溶液（氨水 - 水溶液）等功能水的濃度變化進行 ppm 級實時監(jiān)測。
多藥液 / 量程兼容
一臺顯示器最多可測量 6 種藥液（或量程），可自由指定測量的藥液種類或量程，滿足多種工藝場景的測量需求。
優(yōu)良的測量技術(shù)
基于吸收分光法和多變量解析法，確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，測量間隔僅為 3 秒，可快速響應(yīng)工藝變化。
豐富的接口與配置
配備 DC 24V 供電、RS-232C 通訊接口、傳送出力和接點出力，方便數(shù)據(jù)傳輸與設(shè)備聯(lián)動，集成到工廠自動化系統(tǒng)中。
型號核心參數(shù)
表格
| 參數(shù)項 | 規(guī)格詳情 |
|---|---|
| 型號 | CS-630FD |
| 測量原理 | 吸收分光法 |
| 濃度計算原理 | 多變量解析法 |
| 測量對象 | 低濃度 SC-1 溶液（氨水水溶液） |
| 測量范圍（NH?） | 0.0-30.0 ppm |
| 測量范圍（H?O?） | 0.0-100.0 ppm |
| 重復(fù)性精度 | ±5.0 ppm（NH?、H?O?） |
| 測量間隔 | 3 秒 |
| 移動平均 | 16 次 |
| 電源 | 100~240 V AC（單相），50/60 Hz |
| 功耗 | 約 85 VA |
| 通信接口 | 并行 I/O、RS-232C、模擬輸出 |
| 工作溫度 | 20~30℃（顯示器 / 光源單元）；20~35℃（光纖） |
主要應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造行業(yè)：晶圓廠濕法工藝中，低濃度 SC-1 清洗液、功能水的在線濃度監(jiān)測，確保工藝穩(wěn)定性與清洗效果。
電子元件制造行業(yè)：類似的低濃度酸性 / 堿性濕法處理工藝中，對藥液濃度的實時監(jiān)測與控制。
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