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東京計裝株式會社自1954(昭和29)年創(chuàng)業(yè)以來，作為流量計、液位計的專業(yè)制造商，得到了廣泛產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域客戶的支持。
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TOKYO KEISO東京計裝流量玻璃管轉(zhuǎn)子流量計產(chǎn)品參數(shù)
| 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
TOKYO KEISO東京計裝流量玻璃管轉(zhuǎn)子流量計詳細信息
TOKYO KEISO東京計裝流量玻璃管轉(zhuǎn)子流量計TOKYO KEISO東京計裝流量玻璃管轉(zhuǎn)子流量計
TOKYO KEISO 東京計裝 NE 系列
微小流量玻璃管轉(zhuǎn)子流量計（超微型面積式流量計）
NE 系列是東京計裝超微小流量專用玻璃管浮子流量計，比 P 系列流量更小、精度更高，專為半導(dǎo)體微量吹掃、微量氣體 / 藥液目視監(jiān)測設(shè)計，體積小巧、死體積小、潔凈等級高。
一、測量原理
面積式（浮子 / 轉(zhuǎn)子）原理，流體自下而上推動浮子，目視直讀流量，無需供電。
二、常用型號（半導(dǎo)體主流）
NE?015?08?S
NE?040?10?4
NE?040?15?S
NE?080?30?4
NE?080?40?S
量程特點
覆蓋超微小流量區(qū)間：幾 sccm～幾百 sccm多用于氮氣微吹掃、微量腐蝕氣體旁路、藥液微量監(jiān)測，P 系列做不到這么小。
三、核心技術(shù)規(guī)格
精度：±2%FS
耐壓：0.5 MPa
流體溫度：5～60℃
接液材質(zhì)：硼硅玻璃管、SUS316L、PTFE 浮子（耐腐蝕）
適配介質(zhì)：N?、Ar、HCl、HI、HF、超純水、各類微量藥液
安裝：垂直安裝，面板 / 管路安裝均可
可選：限位開關(guān)、流量報警輸出
四、產(chǎn)品特點
超微小流量：比 P 系列更小，適合微量吹掃、旁路監(jiān)控
死體積極小，潔凈度高，適配半導(dǎo)體 UHP 超高純氣路
浮子可選用 PTFE 材質(zhì)，耐HCl、HI、鹵素等強腐蝕氣體
結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，適合設(shè)備內(nèi)部狹小空間
無電源、免維護，穩(wěn)定可靠，日系原廠品質(zhì)
五、典型應(yīng)用
SiC、第三代半導(dǎo)體、晶圓設(shè)備微量氮氣吹掃
HCl、HI 等腐蝕氣體旁路、微量泄漏監(jiān)測
超純水、清洗藥液微小流量目視指示
真空設(shè)備、分析儀器、檢漏裝置微流量監(jiān)控
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