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STELLA/海德堡儀器
生產(chǎn)廠家
104
國外德國
2026/4/30 15:50:47
產(chǎn)品簡介
VPG+1400 FPD 有掩模光刻系統(tǒng)是全球光掩膜制造商用于大批量生產(chǎn)的體積圖案發(fā)生器，具有突破性的效率和優(yōu)異的質(zhì)量。它們是我們專為顯示器行業(yè)設(shè)計的最大系統(tǒng)，專為大面積光掩膜的高通量圖案化而量身定制，最大尺寸可達 G8.6，最大曝光面積為 1400 x 1800 mm2。它們是希望在平板顯示器行業(yè)取得出色成就的制造商的最佳解決方案。
VPG+1400 FPD 專為高質(zhì)量、快速曝光和極其精確的對準(zhǔn)而設(shè)計。它們配備了分辨率低至 1.2 nm 的差分干涉儀。Mura 優(yōu)化確保了出色的光盤均勻性和分辨率，而閉環(huán)環(huán)境室則符合先進光掩膜制造的嚴(yán)格要求。
VPG+1400 FPD 有掩模光刻系統(tǒng)亮點
曝光質(zhì)量
邊緣粗糙度 20 nm；局部 CD 均勻度 50 nm；地址網(wǎng)格 8 nm；穆拉校正；邊緣檢測。
寫作的穩(wěn)定性
高度穩(wěn)定的氣候箱、實時氣候補償和軟件校正，可應(yīng)對任何環(huán)境變化。
自動對齊
計量軟件包，具有自動全局和逐場校準(zhǔn)功能，并可進行畸變校正。先進的二維校正矩陣，用于平臺位置校準(zhǔn)和刀具匹配。
可擴展性
可輕松擴展到各種尺寸，從中小型到 G8.6 顯示光罩。
穆拉控制站
間距和面板間距優(yōu)化
關(guān)聯(lián)品牌
德國海德堡高精密無掩膜激光直寫設(shè)備海德堡無掩模和激光光刻系統(tǒng)德國海德堡儀器（HeidelbergInstruments），創(chuàng)始于1984年，在激光直寫設(shè)備的發(fā)展和設(shè)計上，為全球半導(dǎo)體提供第一品質(zhì)的服務(wù)。應(yīng)用范圍包括：微光學(xué)和奈米科技、MEMS、平板顯示器、BGA、ASICS、TFT、PlasmaDisplays、MicroOptics，和其他相關(guān)領(lǐng)域。銷售橫跨歐洲、美國、亞洲等超過50個國家、500個以上銷售據(jù)點，用于研發(fā)、快速原型制作和工業(yè)生產(chǎn)系統(tǒng)，是企業(yè)研究和發(fā)展的最佳伙伴。STELLA代理德國海德堡儀器。銷售范圍：中國大陸地區(qū)、中國臺灣地區(qū)、港澳地區(qū)。
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您訪問的VPG+1400 FPD 有掩模光刻系統(tǒng)產(chǎn)品信息，由華兆科技（廣州）有限公司自行發(fā)布提供，產(chǎn)品價格為面議，如您想了解更多關(guān)于VPG+1400 FPD 有掩模光刻系統(tǒng)型號、參數(shù)、用途等信息，歡迎咨詢。
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