SF-3 Otsuka大塚電子光譜干涉法晶圓厚度計(jì)
| 參考價(jià) | ￥ 50000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大塚
- 型號(hào) SF-3
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2026/6/11 13:37:37
- 訪問(wèn)次數(shù) 186
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真空泵;離心機(jī),監(jiān)測(cè)儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀,粒子計(jì)數(shù)器,離心攪拌機(jī),恒溫箱
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,能源,綜合 |
Otsuka大塚電子光譜干涉法晶圓厚度計(jì)
Otsuka大塚電子光譜干涉法晶圓厚度計(jì)
一、品牌與原理
品牌：大塚電子株式會(huì)社 (Otsuka Electronics)，日本光學(xué)測(cè)量?jī)x器大廠
測(cè)量原理：光譜干涉法 (Spectral Interference) —— 非接觸、非破壞、高精度
核心定位：厚膜 / 晶圓在線測(cè)厚（區(qū)別于薄層膜厚儀），主打 高速、長(zhǎng)工作距、產(chǎn)線集成
二、型號(hào)與測(cè)量范圍（SF-3 系列）
| 型號(hào) | 硅晶圓 (Si) 范圍 | 樹脂 / 膜層范圍 |
|---|---|---|
| SF-3/200 | 6 ~ 400 μm | 10 ~ 1000 μm |
| SF-3/300 | 10 ~ 775 μm | 20 ~ 1500 μm |
| SF-3/800 | 20 ~ 1000 μm | 40 ~ 2000 μm |
| SF-3/1300 | 50 ~ 1300 μm | 100 ~ 2600 μm |
三、核心參數(shù)（關(guān)鍵）
重復(fù)精度：±0.01% 以下（高穩(wěn)定性）
快采樣：5 kHz (200 μs / 點(diǎn))，實(shí)時(shí)監(jiān)控
工作距離 (WD)：3 ~ 200 mm（可穿保護(hù)膜 / 玻璃）
光點(diǎn)直徑：φ20 ~ 27 μm（微小光斑）
通信：LAN (TCP/IP)、I/O 觸發(fā)，適合產(chǎn)線集成
尺寸：123 × 224 × 128 mm（緊湊型）
四、主要特點(diǎn)
在線實(shí)時(shí)監(jiān)控：晶圓背面研磨（Backgrind）、CMP 過(guò)程厚度閉環(huán)控制
穿透測(cè)量：可穿過(guò)保護(hù)膜、玻璃窗口直接測(cè)基底厚度
多層分析：支持臨時(shí)鍵合晶圓 雙層厚度 分離測(cè)量
長(zhǎng)工作距：安裝靈活，不怕碰撞、耐粉塵
高速響應(yīng)：適配高產(chǎn)能半導(dǎo)體設(shè)備
五、典型應(yīng)用
硅晶圓 (Si wafer)、化合物半導(dǎo)體（GaAs、SiC）厚度測(cè)量
300 mm / 450 mm 晶圓、TSV 晶圓背面減薄監(jiān)控
玻璃基板、樹脂厚膜、封裝層厚度在線檢測(cè)
可集成到：研磨機(jī)、拋光機(jī)、EFEM、機(jī)械手平臺(tái)
六、采購(gòu)渠道（中國(guó)）
日本大冢電子代理商：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司（Tamasaki Scientific）
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)