凱視邁晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備
一、企業(yè)背景與實(shí)力
南京凱視邁科技有限公司是南京木木西里科技有限公司全資子公司,坐落于南京九龍湖,深耕高精尖光學(xué)精密測量技術(shù)近十年,已發(fā)展為集研發(fā)、制造、銷售于一體的國產(chǎn)光學(xué)精密儀器企業(yè)。
研發(fā)與團(tuán)隊(duì):擁有百余人研發(fā)團(tuán)隊(duì),碩博占比超 60%,建有 “魔瑪 1 號" 智能制造工廠和超精密加工潔凈工廠,還有兩個(gè)研發(fā)中心;累計(jì)擁有 200 余項(xiàng)知識產(chǎn)權(quán),產(chǎn)品斬獲中國光學(xué)工程學(xué)會(huì) “金燧獎(jiǎng)"、清華大學(xué)創(chuàng)的領(lǐng)工博論壇 “創(chuàng)新成果獎(jiǎng)"。
布局與服務(wù)在全國多個(gè)中心城市設(shè)分公司,各分公司均配備分測中心,可提供寄樣測試、實(shí)地參觀服務(wù),能快速、高質(zhì)量服務(wù)全國客戶;業(yè)務(wù)覆蓋半導(dǎo)體、鋰電、光伏、3C、航空航天、精密加工與制造等核心領(lǐng)域。
二、凱視邁晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備產(chǎn)品核心定位與核心優(yōu)勢
設(shè)備集成三款設(shè)備的核心能力,一臺即可完成多類測量任務(wù),替代傳統(tǒng)三維形貌儀、超景深顯微鏡、輪廓測量儀,大幅降低設(shè)備投入和操作復(fù)雜度,核心功能應(yīng)用場景如下:
1. 形貌掃描:高精度捕獲微觀表面形貌
可實(shí)現(xiàn)150mm×120mm大區(qū)域掃描,適配樣品斜率 ±46.5°,通過光譜共焦技術(shù)逐點(diǎn)掃描樣品表面,生成基于高度的彩色三維點(diǎn)云,精準(zhǔn)捕獲微米級至米級樣品的微觀形貌特征,包括表面凹凸、紋理、缺陷、磨損痕跡、微織構(gòu)等。
應(yīng)用場景:材料表面微納結(jié)構(gòu)分析、零件磨損 / 腐蝕形貌檢測、3D 打印樣品成型形貌掃描、芯片封裝表面形貌觀測、泡沫金屬 / 石墨烯等新型材料的孔隙 / 層狀形貌分析。
核心價(jià)值:非接觸式掃描避免劃傷軟質(zhì) / 精密樣品,三維點(diǎn)云數(shù)據(jù)可完整還原表面形貌,為形貌優(yōu)化、缺陷分析提供直觀且量化的依據(jù)。
2. 超景深觀察:全景清晰呈現(xiàn)樣品立體結(jié)構(gòu)
支持180mm×110mm拼接范圍和100mm深度合成范圍,通過直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精密 XY 位移臺高精度拼接 + 電動(dòng) Z 軸深度合成算法,實(shí)現(xiàn)單視野 / 拼接視野下的全局深度合成,突破傳統(tǒng)顯微鏡景深限制,呈現(xiàn)全景對焦清晰的樣品立體圖像。
配套能力:配備多色可控光(紅 / 綠 / 藍(lán))+ 多分區(qū)照明控制(外環(huán) / 內(nèi)環(huán) / 自由控制),可根據(jù)樣品材質(zhì)調(diào)整光源,解決透明、強(qiáng)反光、弱反光樣品觀測對比度低的問題;超高像素相機(jī)保證圖像無畸變、高清晰。
應(yīng)用場景:復(fù)雜立體零件(如軸承滾子、發(fā)動(dòng)機(jī)葉片)的全表面觀察、透明滴膠等透明樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀測、電鍍 / 涂層樣品的表面覆蓋狀態(tài)觀察、青銅器銘文等微浮雕結(jié)構(gòu)的清晰成像。
應(yīng)用場景:精密零件的幾何尺寸公差檢測、臺階樣品的高度差量化、微透鏡陣列的曲率半徑測量、線路板的線寬 / 間距測量。
三、產(chǎn)品核心技術(shù)與硬件配置
凱視邁3D顯微光學(xué)成像系統(tǒng)核心測量原理
成像模組:搭載超高像素相機(jī) + 特殊設(shè)計(jì)鏡頭,實(shí)現(xiàn)無畸變、高清晰圖像觀察;
掃描模組:采用光譜共焦技術(shù),不受樣品材質(zhì)影響,可準(zhǔn)確探知物體高度,實(shí)現(xiàn)逐點(diǎn)掃描并構(gòu)建三維點(diǎn)云。
四、產(chǎn)品核心功能與測量分析能力
凱視邁3D顯微光學(xué)成像系統(tǒng)KC-X3000 系列的軟件與硬件深度結(jié)合,實(shí)現(xiàn)從樣品掃描、數(shù)據(jù)處理到測量分析、報(bào)告生成的全流程智能化,核心功能涵蓋成像、處理、測量、分析四大模塊,測量分析能力對標(biāo)國際標(biāo)準(zhǔn),覆蓋多維度檢測需求:
(1)基礎(chǔ)成像與操作功能
支持真彩圖拍攝、深度合成、圖像拼接,可設(shè)置掃描方式 / 方向 / 間距、曝光、白平衡等參數(shù)并保存 / 加載;具備一鍵 XYZ 軸歸零、開關(guān)機(jī)自動(dòng)歸零功能,實(shí)時(shí)顯示測試進(jìn)度和預(yù)計(jì)用時(shí);圖像存儲(chǔ)支持 JPG、TIFF、RAW 等多種格式,可創(chuàng)建圖像導(dǎo)航并執(zhí)行快速選區(qū)掃描。
(2)數(shù)據(jù)處理功能
可構(gòu)建三維高度色彩、點(diǎn)云、網(wǎng)格模型,支持模型移動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、縮放;提供基準(zhǔn)平面校平、高度偏移、繞 XY 軸傾斜校平,以及簡單平均、高斯濾波、中值濾波等平滑處理,還有高度削減、光強(qiáng)濾波、區(qū)域裁剪等功能,支持一鍵撤銷所有處理操作,點(diǎn)云數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為包含 XYZ 位置與反光強(qiáng)度的 csv 文件。
(3)全維度測量分析功能
平面測量:基于三維圖像提取平面,通過點(diǎn)、線、圓、角、弧等幾何工具測量角度、半徑、直徑、距離等參數(shù),支持多區(qū)域平均臺階測量,計(jì)算不同區(qū)域與標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域的臺階差值。
輪廓測量:多模式選取截面,測量角度、圓弧半徑、平均高度、高度差等,可自動(dòng)擬合極值點(diǎn)、中點(diǎn)、中線等輔助定位。
體積面積分析:設(shè)置凸面 / 凹面模式和基準(zhǔn)面高度,精準(zhǔn)計(jì)算凸起 / 孔體積、橫截面積、表面積,支持忽略小區(qū)域,輸出最小值、平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差等統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。
其他測量:支持峰谷統(tǒng)計(jì)(峰谷數(shù)量、橫截面積)、點(diǎn)高度測量(高度差、高度極值),配備 RGB 測量工具,可指定形狀、亮度、顏色進(jìn)行選區(qū)測量。
(4)報(bào)告與文件管理
支持測量數(shù)據(jù)保存為 xlsx 格式,圖像導(dǎo)出為 png、jpg 等格式;可保存模型、處理過程、測量過程及結(jié)果,自動(dòng)生成包含模型圖像、測量圖像、數(shù)據(jù)的 PDF、docx 格式報(bào)告。
五、產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域與實(shí)際案例
(1)核心應(yīng)用領(lǐng)域
凱視邁 LSCM 技術(shù)(含 KC-X3000 系列)助力多類科技領(lǐng)域研究,包括腐蝕防護(hù)、電鍍、摩擦磨損、材料開發(fā)、微形變、磨削加工、MEMS 器件、石墨烯、光伏電池片、金屬 3D 打印、電池極片等,覆蓋材料、機(jī)械、電子、新能源、航空航天等多個(gè)行業(yè)。
(2)典型應(yīng)用案例
硅片加工 / 劃痕檢測、晶圓銅柱凸塊、軸承球磨損、3D 金屬打印、電解加工凹槽、軸加工 / 疲勞斷面、注塑板劃痕、汽車面板玻璃、MEMS 芯片、透明滴膠、激光加工材料、腐蝕表面、菲涅爾透鏡、超聲波焊接、配流盤、印刷電路板、泡沫銅、激光熔覆等。
(3)學(xué)術(shù)成果支撐
該技術(shù)助力科研人員發(fā)表多篇高水平論文,涵蓋中科院材料科學(xué) 1 區(qū)、環(huán)境科學(xué)與生態(tài)學(xué) 1 區(qū)、工程技術(shù) 1 區(qū)等期刊,研究方向包括海水淡化、太陽能蒸發(fā)器、焊接技術(shù)、微銑削、納米流體、抗菌涂層、復(fù)合材料磨損等,體現(xiàn)了產(chǎn)品在科研領(lǐng)域的專業(yè)價(jià)值。
六、產(chǎn)品競爭優(yōu)勢
相較于傳統(tǒng)測量儀器,KC-X3000 系列采用非接觸式無損測量方式,具備顯著優(yōu)勢,具體對比如下:
手持式粗糙度儀:僅提供線粗糙度數(shù)值,量程小、分辨率低,而本產(chǎn)品可實(shí)現(xiàn)線 / 面粗糙度、平面度多維度分析,大量程、高分辨率;
粗糙度輪廓儀:易劃傷軟材質(zhì)表面,僅能基于線輪廓測量,本產(chǎn)品無損測量,支持三維全尺寸測量;
原子力顯微鏡:前期準(zhǔn)備復(fù)雜,不適用于大起伏樣品,本產(chǎn)品幾乎無需前期準(zhǔn)備,適配 nm~cm 級起伏樣品;
掃描電子顯微鏡:制樣操作繁瑣,無法獲取三維信息,本產(chǎn)品制樣簡單,可構(gòu)建完整三維點(diǎn)云并提取全維度數(shù)據(jù)。
七、典型應(yīng)用案例
1、?半導(dǎo)體制造:晶圓表面缺陷檢測與線痕分析
2、新能源電池:鋰電池極片涂層均勻性評估
3、?航空航天:航發(fā)葉片表面重構(gòu)與缺陷定位
4、精密制造:模具拋光質(zhì)量與刀具磨損評估
5、文物保護(hù):青銅器銘文與古籍紙張微結(jié)構(gòu)解析等
懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。










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