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日本樫山工業(yè)kashiyama真空泵(中國)有限公司是一家致力于真空泵研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)。公司在日本擁有悠久的歷史和豐富的經(jīng)驗(yàn)，自成立以來一直致力于為客戶提供的產(chǎn)品和的服務(wù)。作為一家化的企業(yè)，公司在中國的發(fā)展也備受矚目。
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日本kashiyama半導(dǎo)體刻蝕高耐蝕干式真空泵產(chǎn)品參數(shù)
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 |
日本kashiyama半導(dǎo)體刻蝕高耐蝕干式真空泵詳細(xì)信息
日本kashiyama半導(dǎo)體刻蝕高耐蝕干式真空泵
日本kashiyama半導(dǎo)體刻蝕高耐蝕干式真空泵
產(chǎn)品定位
- SDX：節(jié)能?對(duì)應(yīng)苛刻工藝機(jī)型
- SDT / SDH：高工藝耐受性?超級(jí)苛刻工藝對(duì)應(yīng)機(jī)型（SDH為更高耐工藝系列）
關(guān)鍵規(guī)格一覽
| 機(jī)型 | 抽速* | 極限壓力 | N?流量 | 冷卻水 | 功耗 | 外形尺寸(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| SDX600 | 10,000 L/min | 0.5 Pa | 0–80 SLM | 3 L/min | 1.5 kW | 695×285×850 |
| SDT600 | 18,000 L/min | 0.3 Pa | 0–120 SLM | 4 L/min | 3.0 kW | 695×285×850 |
| SDX1200 | 19,000 L/min | 0.5 Pa | 0–80 SLM | 3 L/min | 1.65 kW | 850×380×950 |
| SDT1200 | 30,000 L/min | 0.3 Pa | 0–120 SLM | 4 L/min | 3.15 kW | 910×420×900 |
| SDX1800 | 50,000 L/min | 0.5 Pa | 0–80 SLM | 3 L/min | 2.1 kW | 1050×515×950 |
| SDT1800 | 100,000 L/min | 0.3 Pa | 0–120 SLM | 4 L/min | 3.3 kW | 1050×515×950 |
| SDH3000* | ※咨詢 | ※咨詢 | 4 L/min | 3.3 kW | 1050×515×950 | |
| SDH6000* | ※咨詢 | ※咨詢 | 4 L/min | 3.7 kW | 1050×515×950 |
*注：SDH系列為更高工藝耐受版本，詳細(xì)性能需聯(lián)系營業(yè)擔(dān)當(dāng)。
通用參數(shù)
- 電源：3相 AC200–220 V（50/60 Hz）
- 極限壓力：無加熱、無N?吹掃條件下測得
- 抽速：為參考值
- 冷卻水：工業(yè)用水，流量見上表
共同技術(shù)特點(diǎn)
- 垂直螺桿轉(zhuǎn)子：轉(zhuǎn)子相互無接觸，零摩擦、低粉塵，MTBF 大幅延長
- 新型分區(qū)加熱系統(tǒng)：保持泵腔溫度梯度，減少副產(chǎn)物沉積，提高工藝耐受性
- 空冷 + 氣鎮(zhèn)（Gas-Ballast）：無需冷卻水配管即可排蒸氣流，節(jié)省潔凈區(qū)空間
- 集中監(jiān)控（CMS）接口：可遠(yuǎn)程讀取溫度、電流、壓力，與主機(jī)臺(tái)聯(lián)動(dòng)
典型應(yīng)用
- 硅/碳化硅晶圓刻蝕、CVD、ALD、離子注入
- LED 藍(lán)寶石襯底與 GaN 外延層工藝
- 功率器件、射頻器件的金屬濺射與氧化物成膜
- 大面積 FPD（TFT-LCD、OLED）干刻與 PECVD 制程
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