PL SERIES納米壓印
- 公司名稱(chēng) 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/12/4 13:30:20
- 訪問(wèn)次數(shù) 303
薄膜半導(dǎo)體材料制備系統(tǒng)超高真空組件直寫(xiě)光刻機(jī)光刻機(jī)NANO IMPRINT納米壓印
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光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開(kāi)爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測(cè)量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測(cè)試系統(tǒng)
PL SERIES納米壓印:
Midas推出了一種臺(tái)式、獨(dú)立的納米壓印平臺(tái):PL系列PL 200/400/600。該平臺(tái)提供了一個(gè)帶有微定位裝置的機(jī)械平臺(tái),用于安裝納米壓印室、UV固化源和校準(zhǔn)顯微鏡。它既可以作為納米壓印系統(tǒng),也可以作為傳統(tǒng)的掩模對(duì)準(zhǔn)器,同時(shí)為您的整個(gè)壓印過(guò)程提供可編程的自動(dòng)控制。
PL SERIES納米壓印:
•基板尺寸 PL 200:2英寸,PL 400:4英寸,PL 600:6英寸(尺寸較小,形狀不規(guī)則)
•壓印面積與晶圓尺寸相同
•模板尺寸 PL 200:2,1英寸,PL 400:4,3,1英寸,PL 600:6,4,2,1英寸
•壓印壓力1 psi標(biāo)準(zhǔn)
•包括模具/基板自動(dòng)釋放-無(wú)需特殊工具
•95%強(qiáng)度水平下的紫外線(xiàn)照射時(shí)間2~3分鐘
•對(duì)準(zhǔn)能力X、Y、Z和θ(精度2μm)



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