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內容聲明：
您訪問的半導體工業(yè)用緊湊型空冷干式真空泵產品信息，由深圳市秋山貿易有限公司自行發(fā)布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于半導體工業(yè)用緊湊型空冷干式真空泵型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
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產品簡介
半導體工業(yè)用緊湊型空冷干式真空泵產品參數
| 泵軸位置 | 邊立式 | 輸送介質 | 其他 |
| 葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
半導體工業(yè)用緊湊型空冷干式真空泵詳細信息
半導體工業(yè)用緊湊型空冷干式真空泵半導體工業(yè)用緊湊型空冷干式真空泵
三、功能亮點
- 3.3 Pa 空冷極限：比同級水環(huán)泵極限低 100 倍，適合 MOCVD 前級
- 16 kg 超輕：比同級水冷泵輕 50 %，可手提移動
- 離子鍍硬鉻螺桿：耐粉塵、耐冷凝液，壽命 20,000 h
- 可拆式粉塵阱：5 µm 顆粒在線捕集，30 s 清理
- 磁耦合零泄漏：Class 100 潔凈室兼容，無油污染
- 54 dB 靜音：比水冷泵低 12 dB，24 h 運行不擾人
四、典型應用系統
MOCVD 前級真空┌─ MOCVD 腔體 ─┐│ │進口← KTS-60 ← 粉塵過濾器（可選）│ │└─ 回大氣 ─────┘- 泵進口接 MOCVD 腔體，3.3 Pa 極限，抽氣時間縮短 30 %
- 粉塵過濾器捕集 GaN 微粒，延長泵壽命
五、實測數據（MOCVD 驗證）
- MOCVD 腔體 100 L，室溫 25 ℃
- KTS-60 50 Hz 運行：
- 2 min 達到 20 Pa
- 5 min 極限 3.3 Pa
- 連續(xù) 8 h 外殼 <45 ℃，無冷卻水
- 噪聲 54 dB（比冰箱低）
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| KTS-60-200 | 200 V 單相標準型 |
| KTS-60-EX | 防爆型 Ex d IIB T4（可選） |
| KTS-60-CT | 溶劑冷阱套件（玻璃+干冰） |
| KTS-60-NW25 | NW25 快接法蘭套件 |
七、維護與可靠性
- 螺桿：離子鍍硬鉻+DLC，壽命 20,000 h，免維護
- 粉塵阱：每月清理一次
- 磁耦合：無磨損，年漂移 < 0.5 %
- 整機 2 年質保，10 年配件保障
八、結論
Unozawa KTS 系列以「3.3 Pa 空冷極限 + 16 kg 超輕 + 離子鍍硬鉻螺桿 + 54 dB 靜音」四合一設計，讓半導體工業(yè)獲得「無油、無冷卻水、耐粉塵」真空源，是緊湊型空冷干式真空泵的「半導體標準機」
三、功能亮點
- 3.3 Pa 空冷極限：比同級水環(huán)泵極限低 100 倍，適合 MOCVD 前級
- 16 kg 超輕：比同級水冷泵輕 50 %，可手提移動
- 離子鍍硬鉻螺桿：耐粉塵、耐冷凝液，壽命 20,000 h
- 可拆式粉塵阱：5 µm 顆粒在線捕集，30 s 清理
- 磁耦合零泄漏：Class 100 潔凈室兼容，無油污染
- 54 dB 靜音：比水冷泵低 12 dB，24 h 運行不擾人
四、典型應用系統
MOCVD 前級真空┌─ MOCVD 腔體 ─┐│ │進口← KTS-60 ← 粉塵過濾器（可選）│ │└─ 回大氣 ─────┘- 泵進口接 MOCVD 腔體，3.3 Pa 極限，抽氣時間縮短 30 %
- 粉塵過濾器捕集 GaN 微粒，延長泵壽命
五、實測數據（MOCVD 驗證）
- MOCVD 腔體 100 L，室溫 25 ℃
- KTS-60 50 Hz 運行：
- 2 min 達到 20 Pa
- 5 min 極限 3.3 Pa
- 連續(xù) 8 h 外殼 <45 ℃，無冷卻水
- 噪聲 54 dB（比冰箱低）
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| KTS-60-200 | 200 V 單相標準型 |
| KTS-60-EX | 防爆型 Ex d IIB T4（可選） |
| KTS-60-CT | 溶劑冷阱套件（玻璃+干冰） |
| KTS-60-NW25 | NW25 快接法蘭套件 |
七、維護與可靠性
- 螺桿：離子鍍硬鉻+DLC，壽命 20,000 h，免維護
- 粉塵阱：每月清理一次
- 磁耦合：無磨損，年漂移 < 0.5 %
- 整機 2 年質保，10 年配件保障
八、結論
Unozawa KTS 系列以「3.3 Pa 空冷極限 + 16 kg 超輕 + 離子鍍硬鉻螺桿 + 54 dB 靜音」四合一設計，讓半導體工業(yè)獲得「無油、無冷卻水、耐粉塵」真空源，是緊湊型空冷干式真空泵的「半導體標準機」
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