一、產(chǎn)品概述

在平板顯示（FPD）、半導(dǎo)體制造、真空鍍膜以及各類大型真空工藝設(shè)備中，快速獲得潔凈、穩(wěn)定的低中真空環(huán)境是保障生產(chǎn)節(jié)拍與產(chǎn)品質(zhì)量的核心環(huán)節(jié)。日本ULVAC（愛發(fā)科）公司推出的LR系列多級(jí)羅茨型干泵，正是為滿足大流量、高負(fù)荷工業(yè)真空需求而設(shè)計(jì)的先進(jìn)干式真空泵。其中，LR1800作為該系列的大流量機(jī)型，憑借其的抽速性能、低溫均熱化技術(shù)和的抗腐蝕能力，成為大型PVD（物理氣相沉積）設(shè)備、裝載/卸載室（Load Lock Chamber）及各類工業(yè)真空系統(tǒng)的理想配套動(dòng)力源。

LR1800是多級(jí)羅茨型干泵，采用多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子串聯(lián)結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)全無油干式壓縮。泵體內(nèi)部通過獨(dú)特的低溫區(qū)域均熱化技術(shù)，使溫度分布均勻，有效防止工藝氣體凝結(jié)。設(shè)備可在大氣壓至低真空的寬廣范圍內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)行，尤其適用于需要反復(fù)在大氣與真空之間切換、對(duì)排氣速度要求高的裝載/卸載室場(chǎng)景。

二、核心技術(shù)原理

多級(jí)羅茨干式壓縮結(jié)構(gòu)

LR1800的核心技術(shù)在于其多級(jí)羅茨（Multi-Stage Roots） 壓縮設(shè)計(jì)。泵體內(nèi)部裝有成對(duì)的三葉羅茨轉(zhuǎn)子，通過精密齒輪以相同轉(zhuǎn)速、相反方向同步旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間始終保持微小間隙而非直接接觸，依靠這一間隙實(shí)現(xiàn)氣體的無接觸捕獲、逐級(jí)輸送與壓縮。

氣體依次通過多個(gè)壓縮級(jí)，逐級(jí)增壓至大氣壓后直接排入大氣。這一設(shè)計(jì)使LR1800能夠從大氣壓狀態(tài)下直接啟動(dòng)并工作，無需依賴前級(jí)泵，大幅簡(jiǎn)化了真空系統(tǒng)的配置。

無油干式運(yùn)行與密封電機(jī)

LR1800的排氣室內(nèi)不使用真空油或任何密封液體。齒輪和軸承雖需潤(rùn)滑油潤(rùn)滑，但通過精密的密封結(jié)構(gòu)——屏蔽電動(dòng)機(jī)（Canned Motor） 設(shè)計(jì)，有效防止了潤(rùn)滑油向泵殼內(nèi)部的滲漏。這一設(shè)計(jì)帶來了兩大核心優(yōu)勢(shì)：一是排氣過程無油霧污染，確保被抽真空環(huán)境的高度潔凈；二是避免了油品老化、乳化等問題對(duì)泵性能的影響，大幅延長(zhǎng)了維護(hù)周期。

低溫區(qū)域均熱化技術(shù)

LR系列最獨(dú)特的技術(shù)特征在于其低溫區(qū)域均熱化設(shè)計(jì)。與HR/UR系列專注于高溫均熱（適用于CVD、刻蝕等硬工藝）不同，LR系列通過獨(dú)特的鋁合金導(dǎo)熱設(shè)計(jì)，使泵體低溫區(qū)域（通?？刂圃?00℃以下）保持極為均勻的溫度分布。這一設(shè)計(jì)有效防止了水蒸氣和工藝氣體在泵內(nèi)低溫區(qū)域的凝結(jié)，同時(shí)確保泵體各部件熱膨脹一致，保障了轉(zhuǎn)子間隙的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

三、核心技術(shù)參數(shù)

LR1800是LR系列中的大流量型號(hào)，其主要技術(shù)規(guī)格如下：

LR1800通常以干泵+機(jī)械增壓泵（MBP）的機(jī)組形式交付，其中干泵本體為L(zhǎng)R180，機(jī)械增壓泵為PRC-018A。

四、核心產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. 超大抽速，滿足高吞吐量需求

LR1800在50Hz下最大排氣速度達(dá)1,701 m3/h（28,350 L/min），60Hz下可達(dá)1,784 m3/h（29,700 L/min）。這一驚人的抽速能力使其能夠在極短時(shí)間內(nèi)將大型真空腔體從大氣壓抽至低真空狀態(tài)，顯著縮短裝載/卸載室的循環(huán)時(shí)間，直接提升生產(chǎn)線的整體吞吐量。

2. 低溫均熱化，適配多種工藝

LR系列有的低溫區(qū)域均熱化技術(shù)，使泵體溫度分布極為均勻。這一設(shè)計(jì)使其特別適用于PVD工藝（濺射、蒸鍍等）以及裝載/卸載室的快速排氣。同時(shí)，低溫運(yùn)行也降低了對(duì)泵體材料的熱應(yīng)力，延長(zhǎng)了設(shè)備壽命。

3. 優(yōu)異的耐腐蝕性

LR1800的主要零部件均采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。這一處理有效降低了腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部件的腐蝕，使泵在面對(duì)含腐蝕性成分的工藝氣體時(shí)仍能保持長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

4. 瞬停對(duì)策（1000ms以內(nèi)）

LR1800具備的瞬停（瞬間停電）對(duì)策功能，可承受長(zhǎng)達(dá)1000ms以內(nèi)的電源瞬斷。在電力不穩(wěn)定的工業(yè)環(huán)境中，這一設(shè)計(jì)有效避免了因短暫電壓波動(dòng)導(dǎo)致的設(shè)備停機(jī)和生產(chǎn)中斷，大幅提升了生產(chǎn)線的連續(xù)運(yùn)行可靠性。

5. 氦氣密封與高安全性

通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)（Canned Motor） ，LR1800形成了密閉的結(jié)構(gòu)。這一設(shè)計(jì)不僅確保了優(yōu)異的氦氣密封性能，更從根本上杜絕了氣體泄漏的風(fēng)險(xiǎn)，保障了操作人員的安全和工藝環(huán)境的純凈。

6. 智能通信與集中監(jiān)控

LR1800配備通信功能，可實(shí)時(shí)讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告及報(bào)警履歷。通過使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，用戶可實(shí)現(xiàn)多臺(tái)泵的集中監(jiān)控和管理，便于設(shè)備維護(hù)與故障預(yù)警。

7. ECO-SHOCK節(jié)能選項(xiàng)

LR系列在與ULVAC有的ECO-SHOCK節(jié)能附件組合使用時(shí)，最多可節(jié)省約80%的電力消耗。這一選項(xiàng)對(duì)于長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行的大功率真空泵而言，可顯著降低運(yùn)營(yíng)成本，具有可觀的經(jīng)濟(jì)效益。

8. CE標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證（可選）

LR1800可選配符合CE標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)格，滿足歐洲及國(guó)際市場(chǎng)的設(shè)備安全要求。

五、應(yīng)用領(lǐng)域

LR1800憑借其超大抽速、低溫均熱化、優(yōu)異的耐腐蝕性和智能監(jiān)控能力，在以下領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用：

• 成膜設(shè)備（PVD工藝） ：濺射裝置、蒸鍍裝置等真空鍍膜設(shè)備的真空系統(tǒng)配套

• 裝載/卸載室（Load Lock Chamber） ：大幅縮短備料下料室的排氣時(shí)間，提升生產(chǎn)線吞吐量

• 輔助排氣泵：作為渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的前級(jí)或輔助排氣泵使用

• 惰性氣體排氣：用于抽除空氣、氮?dú)?、氬氣等惰性氣體

• 熱處理工藝：真空熱處理爐的排氣系統(tǒng)

• 半導(dǎo)體與FPD制造：各類需要快速、潔凈低中真空的工藝環(huán)節(jié)

六、系列對(duì)比與選型建議

LR系列提供多種規(guī)格選擇，覆蓋從小流量到大流量的廣泛應(yīng)用需求：

LR1800在LR系列中屬于大流量機(jī)型，其極限壓力0.67 Pa也優(yōu)于LR60~LR421的5.0 Pa。用戶應(yīng)根據(jù)實(shí)際真空腔體容積、目標(biāo)抽速要求、工藝氣體特性（是否含腐蝕性成分）以及對(duì)節(jié)能（ECO-SHOCK）的需求，選擇最合適的型號(hào)配置。

七、總結(jié)

愛發(fā)科LR1800多級(jí)羅茨型干泵以1,701 m3/h（50Hz）的超大排氣速度、0.67 Pa的極限壓力、545 kg的穩(wěn)健機(jī)身和全面的工業(yè)級(jí)設(shè)計(jì)，在大型真空系統(tǒng)中展現(xiàn)了的潔凈真空獲取能力。其多級(jí)羅茨無油干式壓縮結(jié)構(gòu)、獨(dú)特的低溫區(qū)域均熱化技術(shù)、1000ms瞬停對(duì)策、優(yōu)異的耐腐蝕性以及智能通信功能，使其成為PVD工藝、裝載/卸載室快速排氣以及各類大型工業(yè)真空應(yīng)用的理想選擇。無論是在追求高產(chǎn)能的平板顯示產(chǎn)線，還是在要求高可靠性的半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)，LR1800都能以穩(wěn)定的性能、低維護(hù)成本和智能化的運(yùn)行管理，為用戶提供持續(xù)可靠的真空動(dòng)力保障。