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選納米級(jí)超光滑表面檢測(cè)設(shè)備，中圖儀器SuperViewW白光干涉3D表面輪廓儀以高性價(jià)比、全周期控成本的優(yōu)勢(shì)，成為超精密制造企業(yè)的優(yōu)選！

產(chǎn)品價(jià)值

1.采購成本

· 設(shè)備縱向0.1nm分辨率的精度，可一站式完成超光滑、透明、鏡面高反材料的粗糙度、3D形貌、臺(tái)階高、輪廓尺寸等多參數(shù)檢測(cè)，一臺(tái)替代多款專用納米級(jí)檢測(cè)設(shè)備，大幅降低企業(yè)初期設(shè)備投入；

· 無隱形消費(fèi)，標(biāo)配白光LED光源、Z向掃描模塊、氣浮隔振臺(tái)等核心部件，無需額外采購基礎(chǔ)配件。

2.使用成本

· 設(shè)備精度不隨物鏡倍率衰減，結(jié)合大圖拼接功能，大幅提升大面積超光滑樣品的檢測(cè)效率，減少人工操作時(shí)間，降低人力成本；

· 非接觸式測(cè)量避免損傷精密樣品，減少樣品損耗帶來的成本浪費(fèi)。

3.運(yùn)維成本

· 設(shè)備核心部件耐用性強(qiáng)，后期維修保養(yǎng)成本低，且適配多行業(yè)檢測(cè)需求，企業(yè)技術(shù)升級(jí)后無需頻繁更換設(shè)備，長期使用性價(jià)比突出；

· 批量采購可享專屬定制化報(bào)價(jià)，還可獲得免費(fèi)的檢測(cè)方案優(yōu)化服務(wù)，實(shí)實(shí)在在為企業(yè)節(jié)省全生命周期檢測(cè)成本。

技術(shù)參數(shù)

1.重復(fù)性：粗糙度RMS重復(fù)性可達(dá) 0.005nm（依據(jù)ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)，測(cè)量Sa為0.2nm硅晶片）。

2.臺(tái)階測(cè)量精度：準(zhǔn)確度達(dá)0.3%，重復(fù)性0.08% (1σ)。

3.超高分辨率：Z向掃描范圍10mm，形貌重復(fù)性STR達(dá) 0.1nm。

4.氣浮隔振：標(biāo)配氣浮式隔振底座，有效隔離地面振動(dòng)噪聲，確保每一次微觀測(cè)量的精準(zhǔn)。

5.高清影像：搭載 1024×1024 高分辨率影像系統(tǒng)，微觀細(xì)節(jié)纖毫畢現(xiàn) 。

6.全電動(dòng)控制：Z軸電動(dòng)聚焦（行程100mm），可選配5孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)塔及XY自動(dòng)位移載物臺(tái)，操作絲滑精準(zhǔn)。

7.豐富的鏡頭群：標(biāo)配10×干涉物鏡，可選配從2.5×到100×的多種規(guī)格，配合光學(xué)ZOOM，滿足不同視場(chǎng)需求。

8.便捷操控：配備集成式操縱桿，支持三軸調(diào)節(jié)、速度控制及光源調(diào)節(jié)，像玩游戲一樣輕松搞定精密測(cè)量。

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