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中圖儀器SuperViewW納米級(jí)光學(xué)輪廓白光干涉儀專為光通信行業(yè)打造高精準(zhǔn)、高速度的檢測解決方案，深度適配800G/1.6T光模塊、硅光芯片、晶圓級(jí)微透鏡陣列等核心器件的全流程檢測需求，成為光通信企業(yè)量產(chǎn)提質(zhì)的核心質(zhì)檢裝備！

1.在光模塊制造環(huán)節(jié)，可完成微透鏡陣列的曲率半徑、表面粗糙度、輪廓尺寸等納米級(jí)形貌參數(shù)檢測，精準(zhǔn)把控光耦合關(guān)鍵指標(biāo)，避免信號(hào)損耗與串?dāng)_；

2.硅光芯片生產(chǎn)中，針對(duì)探測芯片與微透鏡集成件做三維形貌檢測，保障光電轉(zhuǎn)換效率；晶圓制造前端工序，可實(shí)現(xiàn)單片晶圓數(shù)萬顆微透鏡陣列的全自動(dòng)全檢，滿足高密度、海量透鏡的在線檢測要求。

3.針對(duì)半導(dǎo)體車間的生產(chǎn)特點(diǎn)，推出W1S/W2S/W3S專屬系列，可靈活適配2/4/6/8/12寸不同尺寸晶圓檢測，利用車間空間；

4.還能應(yīng)用于光通信器件的量產(chǎn)良率監(jiān)測、工藝優(yōu)化驗(yàn)證等環(huán)節(jié)，從研發(fā)試樣到規(guī)?；慨a(chǎn)，覆蓋光通信行業(yè)微納級(jí)形貌檢測的核心場景，一站式解決各類復(fù)雜非球面微透鏡的測量難題。

自研3D顯微測量軟件平臺(tái)Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺(tái)，集成了圖像掃描、3D分析、影像測量、自動(dòng)化測量等四個(gè)大的功能模塊，能夠適配中圖W系列、VT系列、WT系列所有3D儀器機(jī)型，可自主識(shí)別機(jī)型種類，二合一機(jī)型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動(dòng)切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗(yàn)，重構(gòu)了顯微影像測量功能，可針對(duì)微觀平面輪廓尺寸的點(diǎn)、線間的距離、角度、半徑等參數(shù)進(jìn)行直接測量和自動(dòng)匹配測量。

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

SuperViewW納米級(jí)光學(xué)輪廓白光干涉儀對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

懇請(qǐng)注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。