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成立于1819年，在近二百年的發(fā)展中，JobinYvon公司始終遵循著創(chuàng)建以來的一貫宗旨―高品質(zhì)，使公司一直處于世界光柵及光譜儀生產(chǎn)的*地位，并不斷的創(chuàng)造著世界*。
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質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 | 控制范圍 | 10 SCCM 至 1000 SLM多種量程可選 |
| 通信模式和電源 | 多種可選 | 精度 | +/- 1.0% |
| 響應(yīng)時間 | 1s | 功能 | 多氣體/多量程 |
質(zhì)量流量控制器詳細信息
HORIBA SEC-N100 系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品概述
SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、薄膜沉積、分析儀器、光電子、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。該系列支持多種通信協(xié)議，具有較高的精度、快速響應(yīng)能力和*的多氣體、多量程適應(yīng)能力，是新一代工藝控制系統(tǒng)的理想選擇。
產(chǎn)品特點
支持多種通信方式 - 數(shù)字/模擬通信
- DeviceNet™
- CC-Link™
- PROFIBUS™
- EtherCAT®
高精度流量控制
- 控制精度達 ±1.0% of Set Point (*1)
- 重復(fù)性好，穩(wěn)定性高
快速響應(yīng)性能
- 響應(yīng)時間：≤1秒（T98）
- 可變 PID 控制算法，確保不同氣體/不同流量下的穩(wěn)定輸出
多氣體/多量程功能
- 支持用戶自定義更換氣體類型和滿量程（Full Scale）設(shè)定
- 降低庫存成本，提高設(shè)備通用性和靈活性
高可靠性設(shè)計
- 無運動部件結(jié)構(gòu)，可靠性更高，適合長期穩(wěn)定運行
- 緊湊型設(shè)計，適配多種系統(tǒng)集成環(huán)境
| 規(guī)格 | 選擇通信模式 | 選擇電源 |
| SEC-N112MG SEC-N122MG SEC-N132MG SEC-N142MG SEC-N172R | 數(shù)字通信 ?RS485 F-NET協(xié)議 模擬通信 ?0?5VDC | ±15VDC（±5%） HORIBA的陣容包括租賃電源PE系列。 |
| SEC-N114MG SEC-N124MG SEC-N134MG SEC-N144MG SEC-N174R | DeviceNet™通信 | 符合ODVA標(biāo)準 |
| SEC-N115MG SEC-N125MG SEC-N135MG SEC-N145MG SEC-N175R | CC-Link®通信 模擬通信 ?0到5VDC，0到10VDC 4到20mA | 符合CC-Link®標(biāo)準24VDC（13至32VDC） |
| SEC-N116MG SEC-N126MG SEC-N136MG SEC-N146MG SEC-N176R | PROFIBUS™通信 模擬通信 ?0到5VDC，0到10VDC 4到20mA | 符合PROFIBUS™標(biāo)準24VDC（13至32VDC） |
| SEC-N117MG SEC-N127MG SEC-N177R | EtherCAT®通信 | 符合EtherCAT®標(biāo)準24VDC |
適用行業(yè)與應(yīng)用場景
- 半導(dǎo)體制程設(shè)備（如 CVD、Etching、PVD）
- 光電子器件制造
- OLED 面板制程
- 醫(yī)療與生物制藥氣體控制
- 化學(xué)反應(yīng)過程氣體定量注入
- 實驗室氣體流量控制系統(tǒng)
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