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數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
| 價格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,綜合 |
數(shù)字式質(zhì)量流量控制器詳細信息
HORIBA STEC SEC-N114MGM 高精度數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（MFC）
產(chǎn)品概述
HORIBA STEC SEC-N114MGM 是一款高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，隸屬于 HORIBA 的 SEC-N100 系列。該系列產(chǎn)品專為半導(dǎo)體制造、光通信、精密氣體控制實驗室等對氣體流量要求較高的工業(yè)場景設(shè)計，具備高精度、多通信協(xié)議支持和快速響應(yīng)等特點。
主要特點
高精度控制：控制精度可達 ±1.0% 設(shè)定點，確保流量控制的準確性。
快速響應(yīng)：響應(yīng)時間小于 1 秒，適用于動態(tài)過程控制。
多通信協(xié)議支持：支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多種通信協(xié)議，確保與不同系統(tǒng)的兼容性。
多氣體/多量程功能：用戶可通過軟件更改氣體類型和滿量程設(shè)置，無需更換設(shè)備，提升靈活性。
高可靠性設(shè)計：采用 316L 不銹鋼接液材質(zhì)，適用于腐蝕性氣體，高潔凈工藝兼容。
技術(shù)參數(shù)
型號：SEC-N114MGM
流量范圍：1 SLM 至 10 SLM（以氮氣為基準）
控制范圍：2% 至 100% 滿量程
測量范圍：0% 至 100% 滿量程
控制精度：
當(dāng)流量大于 25% 滿量程時：±1.0% 設(shè)定點
當(dāng)流量小于或等于 25% 滿量程時：±0.25% 滿量程
響應(yīng)時間：小于 1 秒
重復(fù)性：±0.2% 滿量程
線性度：±0.5% 滿量程
工作溫度范圍：5°C 至 50°C（推薦 15°C 至 45°C）
工作壓差范圍：50 至 300 kPa（差壓）
最大工作壓力：450 kPa（表壓）
泄漏率：≤ 5 × 10?12 Pa·m3/s（氦氣）
電源要求：+15V ±5% 和 -15V ±5%，各需 150 mA
通信接口：支持 DeviceNet 協(xié)議
接液材質(zhì)：316L 不銹鋼
標準接頭：1/4 英寸 VCR 或 Swagelok 接頭
安裝方向：不限
閥門類型：常閉型（C 型）
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造中的氣體輸送與刻蝕工藝
光通信器件的高純氣體控制
研究與測試實驗室
食品和飲料制造中的滅菌過程
關(guān)聯(lián)品牌
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