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內(nèi)容聲明：
您訪問的涂膠顯影產(chǎn)品信息，由武漢賽斯特精密儀器有限公司自行發(fā)布提供，產(chǎn)品價格為面議，如您想了解更多關(guān)于涂膠顯影型號、參數(shù)、用途等信息，歡迎咨詢。
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產(chǎn)品簡介
涂膠顯影詳細信息
適合基板
① φ6英寸硅板 625μm厚25張標準晶圓架(間隔4.76mm)
② φ4英寸硅板 525um厚25張標準晶圓架(間隔 4.76mm)
③ 70mm 玻璃板 700μm厚25張標準晶圓架(間隔4.76mm)
④100mm 玻璃基板700μm厚25張標準晶圓架(間隔4.76mm)
硅板是 JEITA的規(guī)格品。需要用規(guī)格外的基板,請咨詢。
技術(shù)參數(shù)：
1.轉(zhuǎn)速范圍：0-6000rpm
2.加速度范圍：0-50000rpm/sec
3.轉(zhuǎn)速精度：±1rpm
4.熱盤溫度范圍：50-200℃
5.熱盤溫度均勻性：
50.0℃ ~ 120.0℃ : Range ≤ 0.4℃
120.1℃ ~ 150.0℃ : Range ≤ 0.8℃
150.1℃ ~ 200.0℃ : Range ≤ 1.2℃
6.冷盤溫度范圍：20-30℃
7.冷盤溫度均勻性：±0.2℃
8.適用光刻膠：Max：20000CP
9.膠泵類型：Cylinder/Motor Type pump
10.光刻膠或顯影液管路：PFA
11.流量監(jiān)控：Flowmeter+對射sensor/Finflow/超聲波流量計
1.可支持多單元靈活定制
2.支持I-Line光刻機，支持KRF工藝
3.支持復合板，支持循環(huán)水控溫冷板
4.支持工藝參數(shù)數(shù)字化收集
5.支持遠程監(jiān)控系統(tǒng)
6.支持EAP系統(tǒng)
適用晶圓尺寸：8&6inch 或兼容
設(shè)備尺寸:1850*1700*2600mm（Single block）
3110*1700*2500mm（Open型 daul block ）
翹曲度：±1mm
應(yīng)用領(lǐng)域：硅基，碳化硅，氮化鎵，濾波器，砷化鎵，優(yōu)良封裝等領(lǐng)域
適用于LED、微機電、光通訊等領(lǐng)域的涂膠制程
適用于4、6英寸的Si、藍寶石、三五族化合物（GaAs、InP、GaN等）等晶圓
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