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VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配兩個(gè)不同大小的真空吸盤，可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)工作時(shí)利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上，該設(shè)備可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同，使設(shè)備緩慢提升速度限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會(huì)過多浪費(fèi)，節(jié)約材料。VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點(diǎn)，主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過程。
1、真空吸附方式固定樣件，操作簡便。
2、真空度可以達(dá)到-0.08MPa。
3、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。
4、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。
5、電機(jī)采用24V直流無刷電機(jī)，可靠性高，適應(yīng)性強(qiáng)，維修與保養(yǎng)簡單，噪音低，震動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，啟動(dòng)快速穩(wěn)定，加速后運(yùn)行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
6、采用無油雙杠真空泵，體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。
7、腔體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能；機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu)，結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。
8、可在惰性氣體氣氛（如Ar、N2）下進(jìn)行涂層。
9、全英文操作系統(tǒng)。
10、具有開蓋保護(hù)功能，當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止。
11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機(jī)控制系統(tǒng)，數(shù)值顯示更直觀可靠。

產(chǎn)品名稱	VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
產(chǎn)品型號(hào)	VTC-100PA
安裝條件	1、溫濕度：10-85%RH (at 25℃ 無凝露）溫度： 0-45℃。 2、設(shè)備周圍無強(qiáng)烈震源和腐蝕氣體。 3、水：設(shè)備配有排污下水口 4、電：單相：AC220V 50Hz 國標(biāo)三極插座 10A 必須有良好接地 5、氣：真空負(fù)壓（真空泵） 抽氣流量不小于 70L/M（設(shè)備可通保護(hù)惰性氣體；如：Ar N2） 6、工作臺(tái)：建議 800X600X700mm承重 50KG 以上(固體水泥臺(tái)最佳） 7、通風(fēng)裝置：無特殊要求
主要參數(shù)	1、供電接口：AC220 50Hz 10A 2、總功率：≤150W(不含外接真空泵） 3、涂膜腔體（材質(zhì)）：聚丙烯 4、載樣盤（吸盤）：聚丙烯吸盤Φ19mm 、Φ60mm 各一個(gè) 5、運(yùn)行方式：可儲(chǔ)存 12 組程序；每組程序包含 6 個(gè)運(yùn)行階段 6、涂膜轉(zhuǎn)速：500rpm-10000rpm 有效 7、增減速率：每段增減速率設(shè)置范圍： 100 rpm —2000 rpm 8、涂膜時(shí)間：每段時(shí)間范圍：0-60s 9、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1% 10、控制方式：PCB 單片機(jī)、 按鍵控制 LMC 液晶顯示屏 11、加熱方式：無此功能
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：450mm×340mm×280mm； 重量：18kg

序號(hào)	名稱	數(shù)量	圖片鏈接
1	真空吸盤（含O型圈） （?19mm和?60mm）	2個(gè)
2	中心定位器（含4個(gè)定位柱）	1個(gè)
3	滴膠注射器（20ml）	1個(gè)
4	注射器支架	1個(gè)
5	無油真空泵	1個(gè)
6	橡膠管（含卡箍）	1根

序號(hào)	名稱	功能類別	圖片鏈接
1	其它尺寸的真空吸盤	（可選）
2	國產(chǎn)移液槍	（可選）
3	進(jìn)口移液槍	（可選）