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自1985年成立以來一直專注于晶圓傳輸機(jī)器人及相關(guān)自動(dòng)傳輸用的組件和大型自動(dòng)傳輸設(shè)備的研發(fā)、制造和銷售業(yè)務(wù)。掌握晶圓傳輸所需要的robot，load port及Aligner這些組件從軟件到硬件的核心技術(shù)。
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