ADCMT 全新精密測量儀器系列核心技術參數(shù)詳解
一、臺式數(shù)字萬用表(DMM)
7351E 系列 — 5?位 高速DMM
顯示位數(shù):5?位(最大顯示 ±199,999)
DC電壓量程:100 μV ~ 1000 V,最佳分辨率 1 μV
DC電流量程:10 nA ~ 3 A,最佳分辨率 1 nA
電阻測量:100 μΩ ~ 300 MΩ(支持二線/四線)
基本精度(DCV 1年):±0.01 % rdg + 0.003 % f.s.
采樣速率:最高約 140 次/秒(Fast 模式)
接口:USB(E型標配)、可選 GPIB / RS-232
7451A — 5?位 高速可變積分DMM
顯示位數(shù):5?位(最大顯示 319,999)
DC電壓:1 μV ~ 1000 V,分辨率 1 μV,基本精度 ±0.01 %/年
DC電流:10 nA ~ 3 A,分辨率 10 nA
電阻:100 μΩ ~ 300 MΩ(含低功耗Ω LP-Ω)
采樣速率:最高 5,000 rdgs/s,最快采樣間隔 200 μs
積分時間:100 μs ~ 10 s 連續(xù)可調(diào)(可變積分 A/D)
雙通道 DCV 測量(B通道固定 10 V 量程)
接口:USB、GPIB 標配
7461A / 7461P — 6?位 高精度DMM
顯示位數(shù):6?位(最大顯示 1,199,999)
DC電壓:100 nV ~ 1000 V,分辨率 0.1 μV(100 nV),基本精度 ±0.0035 %/年
DC電流:1 nA ~ 3 A,分辨率 1 nA
電阻:100 μΩ ~ 100 MΩ(二線/四線)
采樣速率:最高 20,000 rdgs/s,最快采樣間隔 50 μs
積分時間:10 μs ~ 10 s 連續(xù)可調(diào)
7461P 額外支持 Pt100/JPt100 溫度測量(-200~+850℃)
數(shù)據(jù)內(nèi)存:10,000(7461A)/ 20,000(7461P)
接口:USB、GPIB 標配
7470 / 7481(科研級)
7470:7?位,DCV 分辨率 10 nV,基本精度 ±5 ppm/24 h
7481:8?位,最大顯示 119,999,999,DCV 分辨率 10 nV,DC電流分辨率 100 fA(0.1 pA),電阻分辨率 1 μΩ
二、SMU 源測量單元(DC Voltage/Current Source-Monitor)
6240B — 含脈沖/低阻測量型 SMU
源范圍:電壓 ±15 V(直流 ±1 A,脈沖最大 ±4 A),電流 ±4 A / ±10 V
源分辨率:電壓 10 μV,電流 1 nA
測量分辨率:電壓 1 μV,電流 100 pA(5?位測量)
基本精度:±0.02 %(典型量程)
最小脈沖寬度:50 μs,最小步 1 μs,最大脈寬 20 ms
特殊功能:低電阻接觸電阻測量(熱電動勢抵消)、Sink(吸電流)雙極性輸出
接口:USB、GPIB
6241A — 中壓高精 SMU
源范圍:電壓 ±32 V / ±500 mA,電流 ±500 mA / ±32 V
源分辨率:電壓 10 μV,電流 1 nA
測量分辨率:電壓 1 μV,電流 100 pA
基本精度:±0.02 %
最小脈沖寬度:50 μs
掃描模式:線性/固定/隨機/雙斜率線性掃描
接口:USB、GPIB
6242 — 大電流低壓 SMU
源范圍:電壓 ±6 V / ±5 A,電流 ±5 A / ±6 V
源分辨率:電壓 10 μV,電流 1 nA
測量分辨率:電壓 1 μV,電流 100 pA
基本精度:±0.02 %
最小脈沖寬度:50 μs
適用:功率器件、低阻抗大電流特性測試
接口:USB、GPIB
6540 / 6541 — 四通道緊湊型 SMU
通道數(shù):4通道獨立,每通道電壓 ±10 V / ±500 mA(4通道合計最大 ±1 A)
源分辨率:電壓 100 μV,電流 100 pA;測量分辨率電壓 10 μV,電流 10 pA
基本精度:±0.02 %
最小脈沖寬度:50 μs
6540:無屏系統(tǒng)型;6541:帶 4.3寸彩屏臺式型
接口:USB 標配,6541 可選 GPIB/LAN
三、超高阻表 / 微電流表(Picoammeter / Electrometer)
5450 / 5451 — 5?位 超高阻 & 微電流表
顯示位數(shù):5?位
微電流量程:1 fA(0.001 pA)~ 19.9999 mA,最佳分辨率 1 fA
電阻量程:10 Ω ~ 3×101? Ω(電壓施加法)
內(nèi)置直流電壓源:±1000 V(5450)/ ±46 V(5451),分辨率 1 mV,最大 10 W
5450 支持 ±1000 Vpeak 浮地(Float)測量
采樣速率:最高 1,000 rdgs/s
預設功能:體積電阻率/表面電阻率/皮安表/漏電流等一鍵調(diào)用
接口:USB、GPIB 標配,Handler I/F 標配
四、關鍵參數(shù)速覽對照
7351E DMM:5?位 / DCV 1μV / ±0.01% / ~140 rdgs/s
7451A DMM:5?位 / DCV 1μV / 可變積分 / 5,000 rdgs/s
7461A DMM:6?位 / DCV 0.1μV / ±0.0035% / 20,000 rdgs/s
6240B SMU:±15V/±4A脈沖 / 1μV+100pA / ±0.02% / 50μs脈沖
6241A SMU:±32V/±500mA / 同上精度 / 線性掃描
6242 SMU:±6V/±5A / 同上精度 / 大電流低電壓
5450 皮安表:1fA~3×101?Ω / ±1000V源 / 1fA分辨率
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