面向真空工藝的MIYUKI GAR系列閘閥:從低噪音運(yùn)行到全閉流量可控技術(shù)
一、產(chǎn)品概述
GAR-C100B是日本MIYUKI(美幸輝)GAR系列控制閘閥中的代表性型號(hào)。GAR系列是一款以優(yōu)良排氣特性為核心賣點(diǎn)的電動(dòng)控制閘閥產(chǎn)品。與同品牌的BAR系列控制蝶閥相比,GAR系列采用帶制動(dòng)器的馬達(dá)驅(qū)動(dòng),通過電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)閥桿實(shí)現(xiàn)閥門的開啟、關(guān)閉及中間開度控制,適用于對(duì)真空度要求更高、口徑更大的工業(yè)管道系統(tǒng)。
GAR-C100B作為該系列的典型產(chǎn)品,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、光伏產(chǎn)業(yè)及各類科研真空系統(tǒng),為高真空環(huán)境下的氣體流量控制提供了可靠的技術(shù)保障。
二、核心技術(shù)特點(diǎn)
2.1 優(yōu)異的排氣特性
GAR系列閘閥在設(shè)計(jì)上充分考慮了真空系統(tǒng)的排氣需求,具有優(yōu)良的排氣特性。閘閥結(jié)構(gòu)本身相比蝶閥具有更低的流阻和更高的電導(dǎo),能夠有效減少排氣過程中的壓力損失,提升系統(tǒng)抽真空效率。
2.2 停電狀態(tài)下的全封閉密封
GAR系列顯著的技術(shù)優(yōu)勢(shì)之一,是即使在停電的情況下也可以實(shí)現(xiàn)全封閉密封。這一功能得益于其帶制動(dòng)器的馬達(dá)設(shè)計(jì)——當(dāng)電力中斷時(shí),制動(dòng)器自動(dòng)鎖止,閥門保持在關(guān)閉位置,確保系統(tǒng)密封性不受影響。這對(duì)于需要長(zhǎng)期保持真空環(huán)境或涉及危險(xiǎn)氣體處理的工藝系統(tǒng)而言,是至關(guān)重要的安全保障。
2.3 全閉流量控制能力
GAR系列閥門具備流量可控至全閉的結(jié)構(gòu)。相比普通閘閥只能在全開或全閉兩個(gè)位置工作,GAR系列通過精密的電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),可以在全開至全閉的整個(gè)行程范圍內(nèi)對(duì)流量進(jìn)行精確調(diào)節(jié),滿足復(fù)雜工藝對(duì)氣體流量精細(xì)控制的需求。
2.4 極低噪音運(yùn)行
得益于優(yōu)化的機(jī)械結(jié)構(gòu)和電機(jī)直驅(qū)設(shè)計(jì),GAR系列在開啟、關(guān)閉及控制操作中噪音極低。這一特點(diǎn)使其特別適用于對(duì)工作環(huán)境噪音有嚴(yán)格要求的潔凈車間和實(shí)驗(yàn)室場(chǎng)所。
2.5 低氣體釋放性
GAR系列閥體及內(nèi)部組件采用不銹鋼研磨材料,具有較低的氣體釋放性。在真空環(huán)境中,材料本身釋放的氣體分子會(huì)污染真空腔體,影響工藝質(zhì)量。GAR系列的低釋氣特性確保了真空系統(tǒng)的純凈度,滿足高制造領(lǐng)域?qū)︻w粒污染的嚴(yán)苛要求。
2.6 廣泛的規(guī)格兼容性
GAR系列支持80A至400A的廣泛口徑范圍,能夠滿足從小型實(shí)驗(yàn)設(shè)備到大型工業(yè)裝置的不同需求。同時(shí),產(chǎn)品提供多種法蘭規(guī)格選項(xiàng),包括JIS、NW(KF)及CF法蘭等,便于與現(xiàn)有管道系統(tǒng)無縫集成。
三、詳細(xì)技術(shù)規(guī)格
GAR-C100B及GAR系列的主要技術(shù)參數(shù)如下:
| 參數(shù)項(xiàng)目 | 規(guī)格指標(biāo) |
|---|---|
| 系列名稱 | GAR(控制閘閥) |
| 口徑范圍 | 80A ~ 400A |
| 工作壓力范圍 | 10? Pa ~ 10?? Pa |
| 內(nèi)部密封(閥門)泄漏量 | 1×10?1? Pa·m3/s 以下 |
| 外部密封(軸)泄漏量 | 1×10?1? Pa·m3/s 以下 |
| 氣體接觸材料 | SUS304 |
| 閥門密封材質(zhì) | 氟橡膠O型圈 |
| 軸封材質(zhì) | 氟橡膠O型圈 |
| 閥體耐熱溫度 | 150°C |
| 電機(jī)耐熱溫度 | 40°C |
| 電機(jī)類型 | 帶制動(dòng)器馬達(dá) |
| 停電時(shí)閥門動(dòng)作 | 停止(制動(dòng)鎖) |
四、與BAR系列的功能對(duì)比
為幫助用戶更好地理解GAR系列的定位,以下將其與同品牌的BAR系列控制蝶閥進(jìn)行對(duì)比:
| 對(duì)比維度 | GAR系列(閘閥) | BAR系列(蝶閥) |
|---|---|---|
| 閥門類型 | 閘閥 | 蝶閥 |
| 口徑范圍 | 80A ~ 400A | 25A ~ 250A |
| 工作壓力范圍 | 10? ~ 10?? Pa | 10? ~ 10?? Pa |
| 內(nèi)部泄漏量 | 1×10?1? Pa·m3/s以下 | 1×10?? Pa·m3/s以下 |
| 電機(jī)類型 | 帶制動(dòng)器(停電鎖定) | 無制動(dòng)器(標(biāo)準(zhǔn)) |
| 核心優(yōu)勢(shì) | 優(yōu)異排氣特性、停電全閉密封 | 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、低顆粒、無背隙 |
| 流量控制 | 可控制至全閉 | 微小開度下壓力穩(wěn)定 |
五、典型應(yīng)用領(lǐng)域
基于上述技術(shù)特點(diǎn),GAR-C100B及GAR系列控制閘閥廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
半導(dǎo)體制造設(shè)備:高真空環(huán)境下的氣體流量控制,停電密封保障工藝安全
真空鍍膜設(shè)備:優(yōu)良的排氣特性確??焖龠_(dá)到工藝所需真空度
光伏產(chǎn)業(yè):低釋氣特性滿足高純度工藝環(huán)境要求
科研真空系統(tǒng):全行程流量控制為實(shí)驗(yàn)研究提供精確調(diào)節(jié)手段
化工與制藥:危險(xiǎn)氣體管路的可靠切斷與流量控制
六、系統(tǒng)集成與擴(kuò)展
GAR系列閘閥可與MIYUKI的MS-VP控制器組合使用,構(gòu)成開度指定型壓力控制系統(tǒng)。通過模擬信號(hào)輸入,閥門開度可實(shí)現(xiàn)線性可變的精確定位,適用于需要自動(dòng)壓力控制的復(fù)雜工藝場(chǎng)景。
七、選型注意事項(xiàng)
安裝姿勢(shì)限制:GAR系列對(duì)安裝姿勢(shì)存在一定限制,選型及安裝前建議咨詢制造商確認(rèn)具體要求。
法蘭規(guī)格選擇:產(chǎn)品提供多種法蘭規(guī)格,選型時(shí)需根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)管道接口標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行匹配。
停電對(duì)策:標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品在停電時(shí)通過制動(dòng)器鎖定閥門位置。如對(duì)停電后的閥門狀態(tài)有特殊要求(如希望閥門自動(dòng)打開或關(guān)閉),可咨詢制造商定制停電對(duì)策產(chǎn)品。
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