日本KOKUSAN遠心干燥機 SPD-180產(chǎn)品原理及工況選型指南

品牌概述

日本KOKUSAN（國産遠心機，中文：科庫森）是深耕離心設(shè)備領(lǐng)域數(shù)十年的專業(yè)制造商，專注研發(fā)生產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)專用遠心干燥機（離心干燥機），設(shè)備憑借日系精密動平衡工藝、高潔凈腔體設(shè)計、穩(wěn)定變頻控制系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓、第三代半導(dǎo)體基板、光學(xué)精密玻璃等濕法清洗后脫水工序。

本次指南主推旗下SPD-180自轉(zhuǎn)式遠心干燥機，該機型主打高轉(zhuǎn)速強效脫水、大尺寸晶圓適配、可編程工藝運行，適配研發(fā)試樣、精密制程小批量生產(chǎn)場景；文末搭配同廠量產(chǎn)款H840SA對向式機型簡易對標(biāo)，方便用戶根據(jù)產(chǎn)線工況精準(zhǔn)選型。

行業(yè)名詞說明：日系設(shè)備圖紙、銘牌標(biāo)注的「遠心乾燥機」，中文標(biāo)準(zhǔn)名稱為離心干燥機，俗稱晶圓甩干機；設(shè)備采用純物理離心脫水，無加熱烘干工序，區(qū)別于螺旋干燥機，無熱損傷、無二次污染，匹配半導(dǎo)體無塵車間生產(chǎn)規(guī)范。

自轉(zhuǎn)式離心干燥機SPD-180設(shè)備工作原理

2.1 整體運行原理

這是一款作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)用晶圓干燥裝置擁有許多實績的設(shè)備。

通過離心力和ULPA過濾器的氣流，將工作部件保持在清潔的水切割干燥狀態(tài)。

SPD-180為單花籃一體式自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，整機搭載一體式晶圓載具轉(zhuǎn)子，工作時主軸帶動料架整體同向高速旋轉(zhuǎn)，依靠離心力，快速剝離晶圓表面附著的純水、IPA清洗液及細(xì)微縫隙殘留藥液。

設(shè)備頂部搭載全域送風(fēng)ULPA超潔凈過濾器，持續(xù)向腔體內(nèi)部輸送無塵潔凈風(fēng)，配合內(nèi)置離子除靜電發(fā)生器，中和工件表面靜電，杜絕靜電吸附微塵；密閉負(fù)壓腔體快速排出腔內(nèi)水汽，從根源消除晶圓水印、水斑、粉塵不良，實現(xiàn)無水痕精密干燥。

2.2 分段工藝運行邏輯

柔性加速階段：平緩升速，避免瞬間轉(zhuǎn)速沖擊導(dǎo)致晶圓偏移、碎片；

恒速脫水階段：穩(wěn)定高轉(zhuǎn)速運行，剝離表面殘留液體；

緩慢減速階段：勻速降速，保護晶圓不受慣性沖擊力影響；

排風(fēng)除濕階段：停機后持續(xù)潔凈風(fēng)換氣，清空腔內(nèi)殘留濕氣。

設(shè)備核心結(jié)構(gòu)與產(chǎn)品優(yōu)勢

3.1 核心結(jié)構(gòu)配置

觸控PLC智能控制系統(tǒng)：高清觸摸屏操作，可儲存5組自定義工藝配方，轉(zhuǎn)速、運行時長、加減速參數(shù)均可獨立調(diào)節(jié)，一鍵切換不同工件干燥程序；

高精密變頻驅(qū)動主軸：原裝變頻電機，轉(zhuǎn)速誤差極小，高速運行無抖動，出廠完成高精度動平衡校準(zhǔn)；

SUS304無縫不銹鋼腔體：耐腐蝕、耐酸堿清洗藥液，腔體，不易積液積塵；

轉(zhuǎn)子快拆結(jié)構(gòu)：無需工具即可快速拆裝花籃轉(zhuǎn)子，日常腔體清潔、維護保養(yǎng)更便捷；

多重安全防護系統(tǒng)：開蓋立即停機、轉(zhuǎn)子失衡報警、過載過壓保護、防震底座，保障車間操作安全。

3.2 產(chǎn)品核心亮點

超高脫水能力：最高轉(zhuǎn)速可達3500rpm，離心力更強，可清除晶片邊緣、微孔內(nèi)微量殘留水分，滿足高階制程零水痕要求；

大尺寸晶圓兼容：業(yè)內(nèi)適配性更強，可支持4/5/6/8英寸全規(guī)格晶圓干燥，覆蓋常規(guī)硅片及第三代半導(dǎo)體碳化硅、氮化鎵基板；

Class100高潔凈等級：標(biāo)配ULPA超高效過濾器+離子除靜電裝置，腔內(nèi)粉塵含量達標(biāo)無塵車間標(biāo)準(zhǔn)，避免靜電吸塵造成工件不良；

工況適配靈活：可編程工藝適配多種材質(zhì)工件，可滿足研發(fā)調(diào)試、小批量試樣、精密光學(xué)件干燥多元需求。