一、產(chǎn)品概述

MIYUKI（美幸輝）BH系列氣動(dòng)蝶閥是日本MIYUKI品牌面向真空及工業(yè)管道控制領(lǐng)域推出的一款高性能氣動(dòng)蝶閥產(chǎn)品。該系列采用壓縮空氣為動(dòng)力源，通過(guò)氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)閥桿旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)蝶板作90°回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)管道中介質(zhì)的切斷或流量調(diào)節(jié)。BH系列以其的可靠性、優(yōu)異的電導(dǎo)性能以及獨(dú)特的兩級(jí)開度控制功能，在真空技術(shù)及工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用。

二、核心技術(shù)特點(diǎn)

2.1 獨(dú)特的雙角度開啟控制

BH系列氣動(dòng)蝶閥顯著的技術(shù)亮點(diǎn)在于其獨(dú)特的開度控制設(shè)計(jì)。閥門可在0°~45° 和90°（全開） 兩個(gè)開啟位置進(jìn)行操作。這一設(shè)計(jì)使得單個(gè)閥門即可同時(shí)實(shí)現(xiàn)慢速排氣和高速排氣兩種功能，極大地提升了閥門在排氣工藝中的靈活性和適用性，無(wú)需為不同排氣速度需求配備多組閥門。

2.2 兩級(jí)氣缸結(jié)構(gòu)

為實(shí)現(xiàn)上述雙角度控制功能，BH系列采用了創(chuàng)新的兩級(jí)氣缸結(jié)構(gòu)。除了常規(guī)的全閉氣缸和全開氣缸外，還額外配備了一組可將閥門開啟角度在0°~45°范圍內(nèi)任意設(shè)定的氣缸。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得用戶可以根據(jù)實(shí)際工藝需求，精確控制閥門的中間開啟角度，實(shí)現(xiàn)更精細(xì)的流量調(diào)節(jié)。

2.3 緊湊高效的執(zhí)行機(jī)構(gòu)

BH系列的氣缸設(shè)計(jì)雖然體積小巧，但在開啟時(shí)推力可加倍，確保了動(dòng)作的可靠性和穩(wěn)定性。同時(shí)，在行程末端設(shè)有氣墊效果（減震功能） ，能夠有效緩和沖擊，延長(zhǎng)閥門及執(zhí)行機(jī)構(gòu)的使用壽命。

2.4 優(yōu)異的密封性能

在密封方面，BH系列表現(xiàn)同樣出色。閥門關(guān)閉時(shí)，蝶板可實(shí)現(xiàn)密封。閥體密封采用氟橡膠O型圈，盤式密封與軸封均為氟橡膠材質(zhì)，確保了在真空環(huán)境下的低泄漏率——泄漏量可控制在1×10?? Pa·m3/s以下。

2.5 電導(dǎo)性能

BH系列閥門在真空應(yīng)用中展現(xiàn)出高的電導(dǎo)性能。其界面厚度極薄，相對(duì)于孔徑的電導(dǎo)性能在所有真空閥中處于水平。這一特性對(duì)于需要高真空度或快速抽真空的應(yīng)用場(chǎng)景尤為關(guān)鍵。

2.6 潔凈室制造與靈活安裝

所有BH系列閥門均在潔凈室中完成組裝和檢查，確保了產(chǎn)品的高潔凈度，滿足半導(dǎo)體、光伏等高制造領(lǐng)域?qū)︻w粒污染的嚴(yán)苛要求。此外，閥門的安裝姿勢(shì)和方向不受任何限制，為系統(tǒng)集成提供了極大的便利。

2.7 可靠的傳動(dòng)系統(tǒng)

BH系列采用簡(jiǎn)單的齒條齒輪傳動(dòng)方式，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔、維護(hù)方便，同時(shí)提供了出色的可靠性，確保了閥門在長(zhǎng)期運(yùn)行中的穩(wěn)定性能。

三、詳細(xì)技術(shù)規(guī)格

四、典型應(yīng)用領(lǐng)域

基于上述技術(shù)特點(diǎn)，MIYUKI BH系列氣動(dòng)蝶閥廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

• 半導(dǎo)體制造設(shè)備：高潔凈度要求與優(yōu)異的真空性能使其成為半導(dǎo)體工藝設(shè)備的理想選擇

• 真空鍍膜設(shè)備：電導(dǎo)性能確?？焖?、高效的抽真空過(guò)程

• 光伏產(chǎn)業(yè)：滿足高純度工藝環(huán)境對(duì)閥門潔凈度和可靠性的要求

• 科研真空系統(tǒng)：靈活的開度控制為實(shí)驗(yàn)研究提供精確的流量調(diào)節(jié)手段

• 工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)線：緊湊的結(jié)構(gòu)和靈活的安裝方式適應(yīng)各類管道系統(tǒng)集成需求

五、選型建議

BH系列提供JIS、ISO、KF（NW）、CF等多種法蘭標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)，用戶可根據(jù)實(shí)際管道接口標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行選擇。口徑范圍覆蓋25A至350A，滿足從小型實(shí)驗(yàn)設(shè)備到大型工業(yè)裝置的不同需求。對(duì)于有特殊要求的應(yīng)用場(chǎng)景，MIYUKI還可生產(chǎn)特殊規(guī)格產(chǎn)品。